一种基于激光干涉的长度测量设备制造技术

本发明专利技术涉及长度测量技术领域，具体公开了一种基于激光干涉的长度测量设备，包括激光测量模组、气幕通道模组、气幕构建模组和通道调节模组；本发明专利技术通过激光测量模组发射和接收激光，利用干涉原理测量光程差变化，能够在加工模组对工件进行机加工作业的同时，实时连续地精确测量工件的微量长度变化；通过气幕通道模组在激光头与测量反射镜之间形成直线通道，并由气幕构建模组向该通道内持续通入惰性气体，形成层流稳定的气幕氛围，从而有效阻隔加工区域产生的油雾、粉尘、切削液飞溅、热气流湍动等污染物和干扰因素，防止其进入激光路径，确保测量光束在传播过程中不受环境因素干扰。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及长度测量，更具体地说，它涉及一种基于激光干涉的长度测量设备。

技术介绍

1、在精密机加工领域，激光干涉测量技术因其纳米级精度被广泛应用于工件加工过程的实时形变监测；然而，在实际机加工环境中，激光干涉测量面临加工污染干扰光路的问题，切削液飞溅、金属粉尘、油雾等污染物会直接侵入激光传播路径，导致光束散射、衰减或折射率突变，造成测量信号失真甚至中断；另外空气湍流与热扰动也是影响激光干涉测量的不利因素，加工区域剧烈的温度梯度（如刀具摩擦热、冷却液温差）引发空气密度变化，产生随机热湍流，同时设备运动导致气流扰动，这些因素显著改变空气折射率，引入不可控的光程误差，严重降低激光干涉测量精度。

技术实现思路

1、为了克服上述技术问题，本专利技术提出了一种基于激光干涉的长度测量设备。

2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种基于激光干涉的长度测量设备，应用于机加工单元，所述机加工单元包括用于装夹工件的工装模组和用于对工件进行机加工的加工模组；所述长度测量设备包括：

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【技术保护点】

1.一种基于激光干涉的长度测量设备，应用于机加工单元，所述机加工单元包括用于装夹工件（900）的工装模组（700）和用于对工件（900）进行机加工的加工模组（800）；其特征在于，所述长度测量设备包括：

2.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉的长度测量设备，其特征在于，所述气幕通道模组（300）包括安装于密封套（200）下端面的波纹管（310）和同轴分布于波纹管（310）内的弹性气幕隔膜（330），所述弹性气幕隔膜（330）上端可伸缩地设置于密封套（200）内，弹性气幕隔膜（330）下端与波纹管（310）下端固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种基于激光干涉的...

【技术特征摘要】

1.一种基于激光干涉的长度测量设备，应用于机加工单元，所述机加工单元包括用于装夹工件（900）的工装模组（700）和用于对工件（900）进行机加工的加工模组（800）；其特征在于，所述长度测量设备包括：

2.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉的长度测量设备，其特征在于，所述气幕通道模组（300）包括安装于密封套（200）下端面的波纹管（310）和同轴分布于波纹管（310）内的弹性气幕隔膜（330），所述弹性气幕隔膜（330）上端可伸缩地设置于密封套（200）内，弹性气幕隔膜（330）下端与波纹管（310）下端固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种基于激光干涉的长度测量设备，其特征在于，所述密封套（200）内开设有环形滑槽（340），所述环形滑槽（340）内滑动嵌设有滑环（350），所述环形滑槽（340）内周向设置有若干与滑环（350）连接的牵引弹簧（360）。

4.根据权利要求2所述的一种基于激光干涉的长度测量设备，其特征在于，所述波纹管（310）下端部设置有锥形罩壳（320），所述锥形罩壳（320）内侧设置有导流罩（390）。

5.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉的长度测量设备，其特征在于，所述气幕构建模组（400）包括开设于密封套（200）内的气腔（410），所述气腔（410）内侧周向开设有若干与气幕通道连通的喷气口（420），所述气腔（410）外侧连通有气管（430）。

6.根据权利要求4所述的一种基于激光干涉的长度测量设备，其特征在于，所述通道调节模组（500）包括设置于安装板（110）上的安装套（530）和设置于锥形罩壳（320）上的轴承座（510）...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴新利，翟玉祥，程祥，张振强，贾战，王双勇，刘玉松，
申请(专利权)人：山东润龙机床有限公司，
类型：发明
国别省市：