下载一种基于激光干涉的长度测量设备的技术资料

文档序号:46622244

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本发明涉及长度测量技术领域,具体公开了一种基于激光干涉的长度测量设备,包括激光测量模组、气幕通道模组、气幕构建模组和通道调节模组;本发明通过激光测量模组发射和接收激光,利用干涉原理测量光程差变化,能够在加工模组对工件进行机加工作业的同时,实...
该专利属于山东润龙机床有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东润龙机床有限公司授权不得商用。

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