一种印刷式MEMS甲醛传感器的制备方法技术

本发明专利技术一种印刷式MEMS甲醛传感器的制备方法，包括甲醛传感器、及其制备方法；甲醛传感器，包括MEMS基底板、甲醛敏感材料层，具体的有益效果如下，（1）、本发明专利技术利用氧化锌和二氧化锡在高温下对甲醛具有较好的响应；（2）、本发明专利技术利用喷墨打印或点胶印刷的方法，可以制备出各种形状、各种规格、各种厚度的甲醛传感器；（3）、本发明专利技术的制备方法可以通过调整氧化锌、二氧化锡、氧化镍的来源村料质量分数比，混合出不同成份比例的所述复合金属氧化物半导体胶体溶液，从而制备出各种性能的甲醛传感器；具有高灵敏度、低检测限、响应时间短、体积小、功耗低、成本低、可大规模工业化生产等优势，可以应用于多种环境甲醛检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气味检测，具体为一种印刷式mems甲醛传感器的制备方法。

技术介绍

1、近年来，随着工业化和城市化进程的加快，挥发性有机化合物（vocs）的排放和污染问题日益凸显。甲醛作为一种常见的vocs，广泛存在于化工、印刷、汽车尾气等行业中，其高浓度排放对环境和人体健康带来潜在的危害。因此，研发高性能的甲醛气体传感器具有重要的研究意义和应用价值。

2、目前，传统的甲醛气体传感器在灵敏度、选择性、响应速度和稳定性方面仍存在一些问题。为了克服这些问题，研究者们借鉴了微电子机械系统（mems）的技术优势，提出了基于mems的甲醛气体传感器的研究方向。

3、mems技术具有体积小、灵敏度高、响应速度快和功耗低的特点，为甲醛气体传感器的高性能提供了有力支持。通过利用mems制备技术，可以制备出高灵敏度、高选择性的传感器，并通过表面功能化和纳米材料的应用进一步提高传感器的性能。同时，基于mems的传感器还可以实现多通道检测和多参数分析，从而实现对甲醛及其他vocs的准确监测。

4、然而，当前的mems甲醛气体传感器研究仍面临一些本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种印刷式MEMS甲醛传感器的制备方法，其特征在于：包括甲醛传感器、及其制备方法；

2.根据权利要求1所述的一种印刷式MEMS甲醛传感器的制备方法，其特征在于：所述甲醛传感器的制备方法包括以下步骤，

【技术特征摘要】

1.一种印刷式mems甲醛传感器的制备方法，其特征在于：包括甲醛传感器、及其制备方法；

2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈文锋，孙铭，夏宇航，沈成哲，
申请(专利权)人：中科微感宁波科技有限公司，
类型：发明
国别省市：