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本发明一种印刷式MEMS甲醛传感器的制备方法,包括甲醛传感器、及其制备方法;甲醛传感器,包括MEMS基底板、甲醛敏感材料层,具体的有益效果如下,(1)、本发明利用氧化锌和二氧化锡在高温下对甲醛具有较好的响应;(2)、本发明利用喷墨打印或点胶...该专利属于中科微感(宁波)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中科微感(宁波)科技有限公司授权不得商用。
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