【技术实现步骤摘要】
本申请涉及磁传感，特别涉及一种三轴霍尔磁传感芯片及霍尔磁传感器。
技术介绍
1、三轴霍尔磁传感芯片是一种使用霍尔元件实现三维磁场检测的三轴磁传感芯片，能够同时敏感三维空间中各方向的磁场，如果可以实现较低成本下的三维磁场检测，则在手机导航、无人机姿态测量等各种三维空间测控领域具有广阔的应用前景。
2、相关技术中的一种三轴霍尔磁传感芯片以平面方式布置霍尔元件，并利用配置在霍尔元件之上的聚磁体将水平磁场在边缘区域“扭转”到可探测的垂直方向，从而不仅检测作为霍尔元件的磁感应方向的z轴方向的磁场，还检测水平方向的磁场，实现对同一基板上的三个轴方向即x轴方向、y轴方向和z轴方向的磁场检测。然而，相关技术中的三轴霍尔传感芯片仍然存在体积较大，成本较高以及灵敏度不足等问题，特别是在需要独立的z轴信号的场景下，相关技术必需增加单独的z轴霍尔元件，但由于聚磁体带来了大面积的磁场畸变，勉强将z向霍尔元件与x轴和y轴集成会导致轴间隔离度性能低、信号串扰明显，且z轴霍尔元件远离聚磁体又浪费芯片空间，增大了成本。
技术实现思
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1.一种三轴霍尔磁传感芯片，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的三轴霍尔磁传感芯片，其特征在于，所述聚磁体在霍尔平面上的正投影与每个所述第二霍尔元件的磁感应区域至少部分重合，且所述正投影的目标角或目标边正对相应第二霍尔元件的磁感应中心，所述目标角或目标边是指靠近相应第二霍尔元件的角或边。
3.根据权利要求1所述的三轴霍尔磁传感芯片，其特征在于，两个所述第二霍尔元件的磁感应中心分别与相应侧的所述第一霍尔元件的磁感应中心在所述第二方向上对齐；或者，
4.根据权利要求1所述的三轴霍尔磁传感芯片，其特征在于，所述第一霍尔元件组输出第...
【技术特征摘要】
1.一种三轴霍尔磁传感芯片，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的三轴霍尔磁传感芯片，其特征在于，所述聚磁体在霍尔平面上的正投影与每个所述第二霍尔元件的磁感应区域至少部分重合，且所述正投影的目标角或目标边正对相应第二霍尔元件的磁感应中心，所述目标角或目标边是指靠近相应第二霍尔元件的角或边。
3.根据权利要求1所述的三轴霍尔磁传感芯片，其特征在于，两个所述第二霍尔元件的磁感应中心分别与相应侧的所述第一霍尔元件的磁感应中心在所述第二方向上对齐；或者，
4.根据权利要求1所述的三轴霍尔磁传感芯片，其特征在于，所述第一霍尔元件组输出第一信号电压，所述第一信号电压正比于所述第三方向的磁场强度；
5.根据权利要求4所述的三轴霍尔磁传感...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，朱忻，
申请(专利权)人：苏州矩阵光电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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