用于方形电流排的霍尔电流传感器及其制造方法技术

本发明专利技术的实施例提供了一种用于方形电流排的霍尔电流传感器及其制造方法，属于半导体磁传感的技术领域。该霍尔电流传感器包括成对布置在同一平面上的两个霍尔；第一聚磁块，其两端分别设置在两个霍尔的上方表面上；两个第二聚磁块，分别设置在两个霍尔的下方表面上；第一聚磁块与两个第二聚磁块的每个第二聚磁块在对应的霍尔表面的投影的重叠部分位于两个霍尔的霍尔敏感区；磁轭，其为半包围结构并具有分别与两个第二聚磁块连接的第一端和第二端；其中磁轭包裹方形电流排并且与集成在一起的第一聚磁块、两个霍尔和两个第二聚磁块连接形成围绕方形电流排的封闭的导磁结构。本发明专利技术的霍尔电流传感器实现无气隙磁场集中避免电流趋肤效应。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体磁传感的，特别涉及一种用于方形电流排的霍尔电流传感器及其制造方法。

技术介绍

1、霍尔磁感应技术广泛应用于例如电流、速度、位移等的多种感测场景。为了提高霍尔传感器的磁感应强度从而提高其感测灵敏度，现有技术还提供了能够感应霍尔芯片水平方向磁场分量并可以实现水平安装的霍尔传感器。叠加感应垂直和水平两个方向磁场的霍尔传感器用于电流排电流检测可以进行更灵活的结构设计，同时制造工艺和校准流程也相对简单。

2、但是，对于大电流值的交流电流的检测还需要考虑交流电流流经电流排时会产生的趋肤效应，即当被测电流为交流时，其频率越高电流越集中于电流排表面，磁场分布也随之改变。

3、无论传统的垂直霍尔、新型的水平霍尔以及磁阻或其他的磁敏感元件，其感测信号都会随着电流的频率和磁场的改变而改变，从而影响霍尔对电流的探测结果，从而产生频率误差。特别是方形电流排，由于交流电流的趋肤效应以及电流排边缘棱角的叠加影响，水平霍尔和垂直霍尔均无法直接安装应用，现有磁阻或磁敏感元件的应用结构难以排除趋肤效应影响从而产生较大频率带来的误差。

4本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于方形电流排的霍尔电流传感器，其特征在于，所述霍尔电流传感器包括：

2.根据权利要求1所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

6.根据权利要求1-5中任一项所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的霍尔电...

【技术特征摘要】

1.一种用于方形电流排的霍尔电流传感器，其特征在于，所述霍尔电流传感器包括：

2.根据权利要求1所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的霍尔电流传感器，其特征在于，

6.根据权利要求1-5中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱忻，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：苏州矩阵光电有限公司，
类型：发明
国别省市：