【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片分选，特别是涉及一种负压吸附装置及硅片搬运装置。
技术介绍
1、硅片作为重要的工业原材料，被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。为保障太阳能电池、电路板等产品的质量，在硅片生产出厂之前需要对其进行检测，并根据检测结果对硅片进行分选。在分选时需要通过负压吸附机构对硅片进行吸附搬运。
2、现有的负压吸附机构多为伯努利吸盘，输入的压缩空气通过吸盘本体和中心插件之间非常小的缝隙高速流动，从而在吸盘和工件之间产生真空。然而，在对硅片进行搬运时，需沿输送方向设置多个伯努利吸盘，而伯努利吸盘由底面中心向四周排气，使得相邻的伯努利吸盘之间会形成扰流，影响负压吸附机构的吸附力，甚至造成硅片的损坏。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种负压吸附装置及硅片搬运装置。
2、为了解决以上技术问题，本技术的技术方案如下：
3、一种负压吸附装置，包括：
4、主板体，其上端面开设有沿其长度方向延伸的凹槽，所述凹槽...
【技术保护点】
1.一种负压吸附装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的负压吸附装置，其特征在于：所述主板体(1)长度方向的两端均转动安装有皮带轮(11)。
3.根据权利要求2所述的负压吸附装置，其特征在于：所述腔体板(8)的长度等于所述通槽(4)的长度，所述腔体板(8)的宽度小于或等于所述通槽(4)上底面的宽度，所述底板(10)的长度等于所述腔体板(8)的长度，所述底板(10)的宽度等于所述腔体板(8)的宽度。
4.根据权利要求2所述的负压吸附装置，其特征在于：所述缺口部(9)呈半圆形。
5.根据权利要求2所述的负压吸附装置...
【技术特征摘要】
1.一种负压吸附装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的负压吸附装置，其特征在于：所述主板体(1)长度方向的两端均转动安装有皮带轮(11)。
3.根据权利要求2所述的负压吸附装置，其特征在于：所述腔体板(8)的长度等于所述通槽(4)的长度，所述腔体板(8)的宽度小于或等于所述通槽(4)上底面的宽度，所述底板(10)的长度等于所述腔体板(8)的长度，所述底板(10)的宽度等于所述腔体板(8)的宽度。
4.根据权利要求2所述的负压吸附装置，其特征在于：所述缺口部(9)呈半圆形。
5.根据权利要求2所述的负压吸附装置，其特征在于：所述盖板(5)、腔体板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘磊，龚燕斌，俞志军，孙留华，谷丙楠，武玉鑫，
申请(专利权)人：诺德凯苏州智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。