一种晶圆箱脱模装置及晶圆箱注塑成型方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆箱脱模装置及晶圆箱注塑成型方法，装置包括：铲机、行位座、斜顶机构和晶圆槽定位件；铲机用于进行垂直运动；行位座用于在铲机垂直运动作用下进行水平运动；斜顶机构一端与铲机进行垂直滑动抵压或斜面滑动抵压，另一端相应地保持不动或进行水平运动；晶圆槽定位件安装在模芯上，用于对晶圆槽进行固定和定位；晶圆槽通过套啤形成晶圆箱的侧壁；在脱模过程中，斜顶机构一端与铲机进行垂直滑动抵压时另一端保持与晶圆箱外侧面抵压。该装置和方法，在脱模过程中斜顶机构和晶圆槽定位件能够对晶圆箱的外传和内侧进行固定，结合行位座水平方向脱模运动，有效降低了晶圆箱变形风险和提高了成品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶圆箱制造，尤其涉及一种晶圆箱脱模装置及晶圆箱注塑成型方法。

技术介绍

1、晶圆箱内侧壁包括晶圆槽，晶圆槽用于对晶圆进行支撑和固定，避免晶圆相互摩擦碰撞导致污染或损坏；目前晶圆箱主要采用先将晶圆槽等零件先注塑成型后，放入晶圆箱模具进行套啤。晶圆槽相互骨位间距整体公差需要在0.5mm范围内以及相邻两个骨位公差需要保证在0.1mm范围内，同时其在模具中定位公差需要保证在0.05mm范围内。同时根据芯片厂商进行晶圆生产过程中需要在晶圆箱侧面设置加强筋结构以满足搬运等设备使用需求。加强筋结构的也需要保证一定公差范围。即晶圆槽以及加强筋结构的结构精度要求较高。但在注塑以及完成套啤过程中，难以对晶圆槽精确定位，同时在脱模过程中，由于晶圆槽套啤形成晶圆箱侧壁，由于融合性比较差，脱模的拉扯的力容易导致晶圆槽和晶圆箱侧壁变形。同时加强筋结构突起等复杂结构，因此脱模过程直接脱模会导致变形。

技术实现思路

1、为了降低晶圆箱脱模变形风险并提高晶圆箱的注塑成品率，本专利技术提出一种晶圆箱脱模装置及晶圆箱注塑成型方法。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆箱脱模装置，其特征在于，包括：铲机(1)、行位座(2)、斜顶机构(3)和晶圆槽定位件(4)；所述铲机(1)和斜顶机构(3)安装在所述行位座(2)上；所述铲机(1)用于进行垂直运动；所述行位座(2)用于在所述铲机(1)垂直运动作用下进行水平运动；所述斜顶机构(3)一端与所述铲机(1)进行垂直滑动抵压或斜面滑动抵压，另一端相应地保持不动或进行水平运动；所述晶圆槽定位件(4)安装在模芯(6)上，用于对晶圆槽(51)进行固定和定位；所述晶圆槽(51)通过套啤形成晶圆箱(5)的侧壁(52)；在脱模过程中，斜顶机构(3)一端与所述铲机(1)进行垂直滑动抵压时另一端保持与所述晶圆箱(5)外...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆箱脱模装置，其特征在于，包括：铲机(1)、行位座(2)、斜顶机构(3)和晶圆槽定位件(4)；所述铲机(1)和斜顶机构(3)安装在所述行位座(2)上；所述铲机(1)用于进行垂直运动；所述行位座(2)用于在所述铲机(1)垂直运动作用下进行水平运动；所述斜顶机构(3)一端与所述铲机(1)进行垂直滑动抵压或斜面滑动抵压，另一端相应地保持不动或进行水平运动；所述晶圆槽定位件(4)安装在模芯(6)上，用于对晶圆槽(51)进行固定和定位；所述晶圆槽(51)通过套啤形成晶圆箱(5)的侧壁(52)；在脱模过程中，斜顶机构(3)一端与所述铲机(1)进行垂直滑动抵压时另一端保持与所述晶圆箱(5)外侧面抵压。

2.根据权利要求1所述的晶圆箱脱模装置，其特征在于，所述铲机(1)包括：t型滑块(11)和移位块(12)；所述t型滑块(11)和所述移位块(12)连接，所述t型滑块(11)和所述移位块(12)能进行垂直运动；所述t型滑块(11)安装在所述行位座(2)上；所述斜顶机构(3)一端能在t型滑块(11)进行垂直滑动抵压并能在移动块12进行垂直滑动抵压和斜面滑动抵压。

3.根据权利要求2所述的晶圆箱脱模装置，其特征在于，所述行位座(2)包括：行位座主体(21)和底板(22)；所述底板(22)固定在所述行位座主体(21)底部，用于限制所述铲机(1)在所述行位座(2)1的滑动位置；所述行位座主体(21)设置有：t型槽(211)；所述t型滑块(11)安装在所述t型槽(211)上，所述行位座主体(21)通过t型槽(211)在所述t型滑块(11)上滑动。

4.根据权利要求3所述的晶圆箱脱模装置，其特征在于，所述铲机(1)还包括：辅助滑块(13)；所述行位座主体(21)的侧面设置有：斜槽(212)；所述斜槽(212)与所述t型槽(211)平行；辅助滑块(13)安装在所述斜槽(212)上并能沿所述斜槽(212)滑动；所述t型滑块(11)与辅助滑块(13)同步同向运动。

5.根据权利要求3所述的晶圆箱脱模装置，其特征在于，所述斜顶机构(3)包括：斜顶杆(31)、顶出模板(32)、镶件(33)、固定块(34)和斜顶座(35)；所述斜顶杆(31)一端可滑动安装在所述斜顶座(35)上，所述斜顶座(35)安装在所述顶出模板(32)上；所述斜顶杆(31)另一端穿过所述行位座主体(21)并在脱模过程中与所述晶圆箱(5)外侧面抵压；所述镶件(33)一端安装在所述顶出模板(32)上，另一端穿过固定块(34)与所述铲机(1)进行垂直滑动抵压或斜面滑动抵压；所述固定块(34)固定在所述行位座(2)的底板(22)上。

6.根据权利要求5所述的晶圆箱脱模装置，其特征在于，所述行位座主体(21)设置有：第一凹槽(213)和第一通孔(214)；所述顶出模板(32)、固定块(34)和斜顶座(35)设置在所述行位座主体(21)的第一凹槽(213)内；所述斜顶杆(31)另一端穿过所述行位座主体(21)的所述第一通孔(214)。

7.根据权利要求6所述的晶圆箱脱模装置，其特征在于，所述顶出模板(32)包括：第一顶出模板(321)和第二顶出模板(322)；所述第一顶出模板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕孙赵，黄坤君，邓志龙，唐东锋，吴宇辉，曾进平，
申请(专利权)人：浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司，
类型：发明
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