一种具有防错位结构的晶圆包装盒制造技术

本申请涉及一种具有防错位结构的晶圆包装盒，包括盒体和盒盖，盒体内设有第一分隔件，盒盖内侧设有第二分隔件，第一分隔件和第二分隔件均用于分隔和限位晶圆，第二分隔件包括边框和多个阵列设置在边框上的柔性压条，柔性压条上设有多个间隔布置的晶圆限位块，晶圆限位块上设有用于限位晶圆的导向卡槽，相邻柔性压条上的晶圆限位块相互独立，且在宽度方向上存在部分交叉，以阻止晶圆落入相邻晶圆限位块之间。本申请设置了防错位结构，能解决大部分的错位问题；又由于柔性压条都是相互独立的，在分隔方向的变形能力很强，在不进入导向卡槽的情况下，不会对晶圆产生较大的扭曲力，不易损伤晶圆。伤晶圆。伤晶圆。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防错位结构的晶圆包装盒


[0001]本申请涉及包装转运
，尤其是涉及一种具有防错位结构的晶圆包装盒。

技术介绍

[0002]公开号为US2005/0274645A1、名称为“SUBSTRATE STORAGE CONTAINER”的美国专利申请公开了一种晶圆包装盒，包括盒体和盒盖，盒体内设有第一分隔件，盒盖内侧设有第二分隔件，第一分隔件和第二分隔件均用于分隔和限位晶圆，第二分隔件包括边框、柔性压条和三条晶圆限位条，晶圆限位条上设有用于限位晶圆的V形卡槽，利用柔性压条的变形能力将晶圆压紧，从而有效防止晶圆在包装盒内晃动，由于晶圆较薄，有的不足1毫米，V形卡槽的开口宽度也比较小，所以在盖上盒盖时有机会产生错位，即晶圆错误地卡入了相邻的V形卡槽的侧壁之间，甚至卡入旁边的V形卡槽内，由于晶圆限位条的存在，将柔性压条连接为一个整体，在分隔方向的变形能力较弱，而且晶圆又薄又脆，错位一旦发生，晶圆就会受到扭曲力，特别容易损坏，有待改进。

技术实现思路

[0003]为了解决现有晶圆包装盒在安装盒盖时有机会使晶圆与第二分隔件 产生错位，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防错位结构的晶圆包装盒，包括盒体(1)和盒盖(2)，所述盒体(1)内设有第一分隔件(3)，所述盒盖(2)内侧设有第二分隔件(4)，所述第一分隔件(3)和第二分隔件(4)均用于分隔和限位晶圆，其特征在于，所述第二分隔件(4)包括边框(41)和多个阵列设置在边框(41)上的柔性压条(42)，所述柔性压条(42)上设有多个间隔布置的晶圆限位块(43)，所述晶圆限位块(43)上设有用于限位晶圆的导向卡槽(431)，相邻柔性压条(42)上的晶圆限位块(43)相互独立，且在宽度方向上存在部分交叉，以阻止晶圆落入相邻晶圆限位块(43)之间。2.根据权利要求1所述具有防错位结构的晶圆包装盒，其特征在于，相邻柔性压条(42)上相邻的两个晶圆限位块(43)其中一个侧面向内凹陷形成凹槽(432)，其中一个向外凸出形成凸块(433)，所述凸块(433)的一部分伸入凹槽(432)内。3.根据权利要求2所述具有防错位结构的晶圆包装盒，其特征在于，所述凹槽(432)为内V形，所述凸块(433)为外V形。4.根据权利要求1所述具有防错位结构的晶圆包装盒，其特征在于，所述盒...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐燕平，刘力，左步伟，张卫东，
申请(专利权)人：浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：