下载一种具有防错位结构的晶圆包装盒的技术资料

文档序号:37285647

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本申请涉及一种具有防错位结构的晶圆包装盒,包括盒体和盒盖,盒体内设有第一分隔件,盒盖内侧设有第二分隔件,第一分隔件和第二分隔件均用于分隔和限位晶圆,第二分隔件包括边框和多个阵列设置在边框上的柔性压条,柔性压条上设有多个间隔布置的晶圆限位块,...
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