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本发明公开了一种晶圆箱脱模装置及晶圆箱注塑成型方法,装置包括:铲机、行位座、斜顶机构和晶圆槽定位件;铲机用于进行垂直运动;行位座用于在铲机垂直运动作用下进行水平运动;斜顶机构一端与铲机进行垂直滑动抵压或斜面滑动抵压,另一端相应地保持不动或进...该专利属于浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江鼎龙蔚柏精密技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种晶圆箱脱模装置及晶圆箱注塑成型方法,装置包括:铲机、行位座、斜顶机构和晶圆槽定位件;铲机用于进行垂直运动;行位座用于在铲机垂直运动作用下进行水平运动;斜顶机构一端与铲机进行垂直滑动抵压或斜面滑动抵压,另一端相应地保持不动或进...