一种气体检测装置以及一种气体种类与浓度的检测方法制造方法及图纸

技术编号:46608410 阅读:1 留言:0更新日期:2025-10-14 21:07
本发明专利技术属于气体检测技术领域,本发明专利技术提供了一种气体检测装置以及一种气体种类与浓度的检测方法,所述气体检测装置包括气体检测模块、光源与气室;气体检测模块包括体声波谐振器和设置在其上的超表面结构;光源朝向超表面结构发出光波,超表面结构配置为在气室中吸收目标气体的特征吸收光谱波长处的光波,将光转换为热能,引起体声波谐振器的频率漂移,从而用于检测气体的种类与浓度。所述气体检测装置可以在各种环境下应用,具有高频高敏、无线无源、质量轻等优势。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于检测,涉及一种含有超表面结构与体声波谐振器的检测装置,尤其涉及一种气体检测装置以及一种气体种类与浓度的检测方法。


技术介绍

1、在气体检测领域,多组分气体的种类与浓度同步检测是行业亟待突破的难点。

2、cn119246469a公开了一种气体浓度传感系统和气体浓度检测方法,其系统基于多个“石墨烯倾斜光纤光栅”,利用石墨烯的光学特性增强不同气体的响应信号,并匹配宽谱光源、光谱分析仪以及解调系统,对多个石墨烯倾斜光纤光栅各自透射出的光进行光谱分析,得到多个石墨烯倾斜光纤光栅各自对应的光谱分析结果,并基于光谱分析结果,计算多种预设气体的气体浓度。该设计虽在集成性上取得进展,但光栅制作工艺复杂,且需匹配高精度光谱分析仪,难以大规模推广。

3、cn114486128a公开了一种融合超声波和被动式红外成像的气体泄漏检测装置及方法,其检测装置的壳体内安装有光学探测组件、超声波探测组件、中控模块和数据对比模块。所述光学探测组件包括红外探测器和可见光成像ccd,红外探测器与超声波探测组件相配合,用于探测泄露点并获取点位的成像信号,中控模块本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种气体检测装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的气体检测装置,其特征在于,所述气体检测装置至少含有两个所述气体检测模块,每个所述气体检测模块的超表面结构分别匹配不同的目标气体。

3.根据权利要求1或2所述的气体检测装置,其特征在于,所述体声波谐振器包括高次谐波体声波谐振器;

4.根据权利要求3所述的气体检测装置,其特征在于,所述电势连接线设置在所述顶电极与所述介电钝化层之间,并与所述顶电极形成电性连接;

5.根据权利要求4所述的气体检测装置,其特征在于,所述气体检测装置还包括数据处理模块,所述数据处理模块与所述天线形成无线...

【技术特征摘要】

1.一种气体检测装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的气体检测装置,其特征在于,所述气体检测装置至少含有两个所述气体检测模块,每个所述气体检测模块的超表面结构分别匹配不同的目标气体。

3.根据权利要求1或2所述的气体检测装置,其特征在于,所述体声波谐振器包括高次谐波体声波谐振器;

4.根据权利要求3所述的气体检测装置,其特征在于,所述电势连接线设置在所述顶电极与所述介电钝化层之间,并与所述顶电极形成电性连接;

5.根据权利要求4所述的气体检测装置,其特征在于,所述气体检测装置还包括数据处理模块,所述数据处理模块与所述天线形成无线信号连接,用于接收并处理所述气体检测模块中体声波谐振器的频率信号,计算频率值以及频率漂移值;

6.根据权利要求1-5任一项所述的气体检测装置,其特征在于,所述气体检测装置还包括外壳支撑结构;所述外壳支撑结构包括头部、中部以及尾部;所述头部具有头部容纳空间,用于容纳所述光源,...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘炎曾锐陈瑞岳文杰汪胜祥
申请(专利权)人:武汉纺织大学
类型:发明
国别省市:

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