【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种供应体系，尤其涉及一种氢氟酸调配供应系统。
技术介绍
1、在化学实验和工业生产中，氢氟酸试剂的准确混合和控制具有重要的意义。氢氟酸是一种具有强腐蚀性和毒性的化学物质，其使用和处理需要特别小心。传统的氢氟酸试剂混合方式往往依赖于人工操作或简单的机械搅拌，这种方法存在诸多缺陷。人工操作不仅效率低下，而且容易出现人为误差，导致混合比例不准确，影响实验结果或产品质量。同时，人工直接接触氢氟酸试剂也存在极大的安全风险。机械搅拌方式虽然在一定程度上提高了混合的效率，但仍难以精确控制混合比例，并且对于一些高要求的实验和生产过程，其混合效果往往无法满足需求。
2、此外，现有的混合控制系统在应对复杂的工艺流程和多变的生产需求时，灵活性和适应性不足。例如，当需要根据不同的实验条件或生产任务快速调整混合比例和速度时，现有的系统难以迅速响应和做出准确的调整。在一些特殊的应用场景中，如对混合精度要求极高的半导体制造行业，传统的混合方法和控制系统更是无法达到要求。由于氢氟酸试剂在半导体制造中起着关键作用，任何微小的混合误差都可能导致芯片性...
【技术保护点】
1.一种氢氟酸调配供应系统，其特征在于，包括氢氟酸调配供应控制柜和调配罐；其中，所述调配罐设有无水氢氟酸源接口和超纯水源接口，所述调配罐连接氢氟酸第一运输管道的第一端，所述氢氟酸第一运输管道的第二端进入所述氢氟酸调配供应控制柜柜体，连接第一过滤器的进口端，第一过滤器的出口端连接第二过滤器的进口端，第二过滤器的出口端连接氢氟酸供应接口。
2.根据权利要求1所述的一种氢氟酸调配供应系统，其特征在于，氢氟酸调配供应控制柜内，所述第二过滤器的出口端和所述氢氟酸供应接口之间的管道上，还连接有氢氟酸第二运输管道，所述氢氟酸第二运输管道穿出所述氢氟酸调配供应控制柜柜体后...
【技术特征摘要】
1.一种氢氟酸调配供应系统，其特征在于，包括氢氟酸调配供应控制柜和调配罐；其中，所述调配罐设有无水氢氟酸源接口和超纯水源接口，所述调配罐连接氢氟酸第一运输管道的第一端，所述氢氟酸第一运输管道的第二端进入所述氢氟酸调配供应控制柜柜体，连接第一过滤器的进口端，第一过滤器的出口端连接第二过滤器的进口端，第二过滤器的出口端连接氢氟酸供应接口。
2.根据权利要求1所述的一种氢氟酸调配供应系统，其特征在于，氢氟酸调配供应控制柜内，所述第二过滤器的出口端和所述氢氟酸供应接口之间的管道上，还连接有氢氟酸第二运输管道，所述氢氟酸第二运输管道穿出所述氢氟酸调配供应控制柜柜体后，连接所述调配罐。
3.根据权利要求1所述的一种氢氟酸调配供应系统，其特征在于，在氢氟酸第一运输管道上，所述第一过滤器的上游还设有泵，所述泵为一个或至少两个，当所述泵为至少两个时，所述泵之间并联设置。
4.根据权利要求3所述的一种氢氟酸调配供应系统，其特征在于，氢氟酸调配供应控制柜内，所述第一过滤器的进口端和所述泵之间的管道上，还连接有氢氟酸第三运输管道，所述氢氟酸第三运输管道穿出所述氢氟酸调配供应控制柜柜体后，连接所述调配罐。
5.根据权利要求4所述的一种氢氟酸调配供应系统，其特征在于，所述氢氟酸第三运输管道上还设有换热器，所述换热器的进...
【专利技术属性】
技术研发人员：程童莲，
申请(专利权)人：上海晶福机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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