【技术实现步骤摘要】
本技术属于气体颗粒浓度检测，具体是一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置。
技术介绍
1、在半导体制造领域，晶圆盒作为晶圆的存储与运输容器，其洁净度直接关系到晶圆的品质与最终产品的性能。晶圆盒在生产、运输及存储过程中，可能会受到空气中尘埃、微粒等污染物的侵入，这些微小颗粒若附着于晶圆表面，将严重影响晶圆的加工精度与可靠性，甚至导致整个生产线的良品率下降。因此，对晶圆盒的洁净度进行精确、高效的检测，是确保半导体生产质量的关键环节。
2、现有技术存以下不足：现有的气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置检测时间长，无法快速测出晶圆盒气密性，受环境影响较大，静置时温度、周边风速均对结果有影响，同时受环境影响，外界环境温度影响检测精度。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一；为此，本技术提出了一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案:一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，包括：腔体，所述腔体...
【技术保护点】
1.一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，其特征在于，包括：腔体（106），所述腔体（106）为圆晶处理的核心区域，所述腔体（106）用于提供封闭、洁净的环境；
2.根据权利要求1所述的一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，其特征在于，还包括第一电磁阀（101）、第二电磁阀（102）、第三电磁阀（103）、第四电磁阀（104）、所述第一电磁阀（101）、第二电磁阀（102）、第三电磁阀（103）、第四电磁阀（104）均设置于腔体（106）的外部，所述第一电磁阀（101）、第二电磁阀（102）、第三电磁阀（103）、第四电磁阀（104）用于控制气
<...【技术特征摘要】
1.一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，其特征在于，包括：腔体（106），所述腔体（106）为圆晶处理的核心区域，所述腔体（106）用于提供封闭、洁净的环境；
2.根据权利要求1所述的一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，其特征在于，还包括第一电磁阀（101）、第二电磁阀（102）、第三电磁阀（103）、第四电磁阀（104）、所述第一电磁阀（101）、第二电磁阀（102）、第三电磁阀（103）、第四电磁阀（104）均设置于腔体（106）的外部，所述第一电磁阀（101）、第二电磁阀（102）、第三电磁阀（103）、第四电磁阀（104）用于控制气体的进出。
3.根据权利要求2所述的一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，其特征在于，所述腔体（106）的上固定安装有四组气体传输通道且与腔体（106）内部相通，所述第一电磁阀（101）、第二电磁阀（102）、第三电磁阀（103）、第四电磁阀（104）均安装于四组气体传输通道内。
4.根据权利要求3所述的一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，其特征在于，所述第一电磁阀（101）、第二电磁阀（102）、第三电磁阀（103）、第四电磁阀（104）、温度及氧浓度传感器（105）均通过电性连接。
5.根据权利要求4所述的一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，其特征在于，所述前开式晶圆盒（107）通过螺栓固定安装于连接板（...
【专利技术属性】
技术研发人员：周尤，刘元博，
申请(专利权)人：安徽万维克林精密装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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