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本技术公开了一种基于气体颗粒浓度的晶圆盒洁净度检测装置，涉及气体颗粒浓度检测技术领域，包括：腔体，所述腔体为圆晶处理的核心区域，所述腔体用于提供封闭、洁净的环境；温度及氧浓度传感器，所述温度及氧浓度传感器设固定安装于腔体的内部，所述温度及氧...
该专利属于安徽万维克林精密装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽万维克林精密装备有限公司授权不得商用。

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