一种晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置制造方法及图纸

本技术提供一种晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置，包括箱体，箱体底部连接有物料平台和表面处理装置，物料平台和表面处理装置临近设置。物料平台和表面处理装置上侧设置有转运装置，转运装置两端连接于箱体侧壁，转运装置将物料平台上的晶片转运至表面处理装置内进行表面处理。表面处理装置包括清洗机，腐蚀烧杯、钝化烧杯，清洗机设有的清洗腔室内设有清洗液，腐蚀烧杯内设有腐蚀液，钝化烧杯内设有钝化液。本技术使整个表面处理过程中全自动进行，能够确保表面处理过程的稳定性。在箱体中全自动进行表面处理，能够避免操作人员和有毒液体接触，保证身体健康安全。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶体测试，具体涉及一种晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置。

技术介绍

1、生长出的晶体通常需要进行光电方面性能的表征测试，通过表征测试的结果来检测晶体生长的质量。光电表征测试阶段前需要进行一系列的处理，主要的工序包括：将晶体坯料切割成晶圆；将晶圆进一步加工成晶片；对晶片进行磨抛；对精抛后的晶片进行表面处理；然后将处理好的晶片表面镀电极；最后进行光电性能表征测试。其中对精抛后的晶片进行表面处理包括多个步骤，主要包括清洗、腐蚀和钝化。清洗用的试剂多为有机类化学试剂，如甲醇、乙醇、丙醇和乙二醇等；腐蚀和钝化用的试剂常常是酸、碱及一些强氧化性的试剂，如盐酸、硝酸、氢氧化钾和双氧水等。目前表面处理步骤大都为人工操作，有机类和酸碱及强氧化性等化学试剂对人体都有不同程度的伤害，操作时需要带专用的防护面罩和护具等，容易伤害人体健康。为了保证晶片性能测试的稳定性，需要确保表面处理过程的稳定性，而人工操作从手法、时效和准确度上存在误差，难以确保表面处理过程的稳定性和精确性。

2、因此，上述问题亟待解决。

技术实现思路

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【技术保护点】

1.一种晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置，其特征在于：包括箱体（1），所述箱体（1）底部连接有物料平台（2）和表面处理装置（3），所述物料平台（2）和表面处理装置（3）临近设置；所述物料平台（2）和表面处理装置（3）上侧设置有转运装置（4），所述转运装置（4）两端连接于箱体（1）侧壁，所述转运装置（4）将物料平台（2）上的晶片转运至表面处理装置（3）内进行表面处理；所述表面处理装置（3）包括清洗机（31），腐蚀烧杯（32）、钝化烧杯（33），所述清洗机（31）设有的清洗腔室内设有清洗液，腐蚀烧杯（32）内设有腐蚀液，所述钝化烧杯（33）内设有钝化液。

2.根据权利要求1所述的晶片...

【技术特征摘要】

1.一种晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置，其特征在于：包括箱体（1），所述箱体（1）底部连接有物料平台（2）和表面处理装置（3），所述物料平台（2）和表面处理装置（3）临近设置；所述物料平台（2）和表面处理装置（3）上侧设置有转运装置（4），所述转运装置（4）两端连接于箱体（1）侧壁，所述转运装置（4）将物料平台（2）上的晶片转运至表面处理装置（3）内进行表面处理；所述表面处理装置（3）包括清洗机（31），腐蚀烧杯（32）、钝化烧杯（33），所述清洗机（31）设有的清洗腔室内设有清洗液，腐蚀烧杯（32）内设有腐蚀液，所述钝化烧杯（33）内设有钝化液。

2.根据权利要求1所述的晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置，其特征在于：所述箱体（1）设置有清洗剂桶（10）、钝化剂桶（11）、腐蚀剂桶（12），所述清洗剂桶（10）内设有清洗剂，所述钝化剂桶（11）内设有钝化液，所述腐蚀剂桶（12）设有腐蚀液，所述清洗剂桶（10）、钝化剂桶（11）、腐蚀剂桶（12）管道连接有泵组（13），所述泵组（13）将清洗剂桶（10）内的清洗剂抽送至清洗机（31）内，所述泵组（13）将钝化剂桶（11）内的钝化液抽送至钝化烧杯（33）内，所述泵组（13）将腐蚀剂桶（12）内的腐蚀液抽送至腐蚀烧杯（32）内。

3.根据权利要求2所述的晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置，其特征在于：所述箱体（1）设有推拉门（14），所述推拉门（14）将箱体（1）分为工作间（18）和存液间（19），所述物料平台（2）、表面处理装置（3）和转运装置（4）设于工作间（18），所述清洗剂桶（10）、钝化剂桶（11）、腐蚀剂桶（12）和泵组（13）设于存液间（19）。

4.根据权利要求3所述的晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置，其特征在于：所述清洗剂桶（10）设有两个及以上，两个及以上所述清洗剂桶（10）内存有不同清洗剂；所述钝化剂桶（11）设有两个及以上，两个及以上所述钝化剂桶（11）内存有不同钝化液；所述腐蚀剂桶（12）设有两个及以上，两个及以上所述腐蚀剂桶（12）内存有不同腐蚀液。

5.根据权利要求4所述的晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置，其特征在于：所述存液间（19）包括钝化液间（191）、腐蚀液间（192）、清洗液间（193）；所述泵组（13）包括钝化液输入泵组（131）和钝化液输出泵（132）、腐蚀液输入泵组（133）和腐蚀液输出泵（134）、清洗液泵组（135）；所述清洗剂桶（10）和清洗液泵组（135）设于清洗液间（193）内，所述钝化剂桶（11）、钝化液输入泵组（131）和钝化液输出泵（132）设于钝化液间（191）内，所述腐蚀剂桶（12）、腐蚀液输入泵组（133）和腐蚀液输出泵（134）设于腐蚀液间（192）内；所述钝化液间（191）内设有钝化混合桶（16），所述腐蚀液间（192）设有腐蚀混合桶（17），两个及以上所述钝化剂桶（11）通过钝化液输入泵组（131）和钝化混合桶（16）管道连接，所述钝化混合桶（16）通过钝化液输出泵（132）和钝化烧杯（33）管道连接，所述钝化液输入泵组（131）将两个及以上钝化剂桶（11）内的钝化液抽取至钝化混合桶（16）内混合，所述钝化液输出泵（132）将钝化混合桶（16）内混合钝化液抽送至钝化烧杯（33）内；两个及以上所述腐蚀剂桶（12）通过腐蚀液输入泵组（133）和腐蚀混合桶（17）管道连接，所述腐蚀混合桶（17）通过腐蚀液输出泵（134）和腐蚀烧杯（32）管道连接，所述腐蚀液输入泵组（133）将两个及以上腐蚀剂桶（12）内的腐蚀液抽取至腐蚀混合桶（17）内混合，所述腐蚀液输出泵（134）将腐...

【专利技术属性】
技术研发人员：王杜，王豆豆，高绪彬，
申请(专利权)人：苏州哥地光子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：