温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种晶片自动清洗、腐蚀和钝化装置，包括箱体，箱体底部连接有物料平台和表面处理装置，物料平台和表面处理装置临近设置。物料平台和表面处理装置上侧设置有转运装置，转运装置两端连接于箱体侧壁，转运装置将物料平台上的晶片转运至表面处理装置内...
该专利属于苏州哥地光子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州哥地光子技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。