一种埚邦、单晶炉制造技术

技术编号:46545713 阅读:1 留言:0更新日期:2025-10-10 21:09
本技术公开了一种埚邦、单晶炉,埚邦包括至少两个分瓣体和至少一个筒箍,分瓣体沿埚邦的周向分布,相邻的分瓣体通过互补的拼接结构连接,全部分瓣体共同拼成筒状体,筒箍套接于筒状体的外表面。本技术的埚邦能够更好地完成和石英坩埚的分离工作。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉,特别涉及一种埚邦、单晶炉


技术介绍

1、单晶炉是将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长单晶的设备。石英坩埚作为直拉单晶过程中的消耗品,需要一炉一更换。由于石英坩埚在高温软化后会与包裹在石英坩埚外壁的埚邦紧挨,所以在整炉运行完成后无法直接取出,目前主要使用金属锤对石英坩埚进行敲击破碎分离,该过程非常费力,敲击过程还会导致碎渣飞溅,存在一定的风险,同时,用力敲击还会对外侧的埚邦造成冲击损伤,大幅降低埚邦的寿命。


技术实现思路

1、有鉴于此,本技术的目的之一在于提供一种埚邦,以便更好地完成埚邦和石英坩埚的分离工作。本技术的另一目的在于提供一种包括上述埚邦的单晶炉。

2、为了实现上述目的,本技术提供如下技术方案:

3、一种埚邦,包括:

4、至少两个分瓣体,所述分瓣体沿所述埚邦的周向分布,相邻的所述分瓣体通过互补的拼接结构连接,全部所述分瓣体共同拼成筒状体;

5、至少一个筒箍,所述筒箍套接于所述筒状体的外表面。

6、可选地,在上述埚邦中,所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种埚邦,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的埚邦,其特征在于,所述筒箍设置有安装孔,所述分瓣体的外表面开设有与所述安装孔位置对应的螺纹孔,所述筒箍和所述分瓣体通过穿设于所述安装孔的螺钉连接。

3.根据权利要求2所述的埚邦,其特征在于,所述螺纹孔位于所述拼接结构对应的区域以外,或者,所述螺纹孔包括位于所述拼接结构对应的区域的第一螺纹孔。

4.根据权利要求1所述的埚邦,其特征在于,所述拼接结构设置为沿所述埚邦的径向搭接的结构。

5.根据权利要求4所述的埚邦,其特征在于,相邻的所述分瓣体之间的所述拼接结构沿所述埚邦的周向的尺寸为40...

【技术特征摘要】

1.一种埚邦,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的埚邦,其特征在于,所述筒箍设置有安装孔,所述分瓣体的外表面开设有与所述安装孔位置对应的螺纹孔,所述筒箍和所述分瓣体通过穿设于所述安装孔的螺钉连接。

3.根据权利要求2所述的埚邦,其特征在于,所述螺纹孔位于所述拼接结构对应的区域以外,或者,所述螺纹孔包括位于所述拼接结构对应的区域的第一螺纹孔。

4.根据权利要求1所述的埚邦,其特征在于,所述拼接结构设置为沿所述埚邦的径向搭接的结构。

5.根据权利要求4所述的埚邦,其特征在于,相邻的所述分瓣体之间的所述拼接结构沿所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:张正李文斌侯志文刘原于洋
申请(专利权)人:恒利晶硅新材料内蒙古有限公司
类型:新型
国别省市:

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