【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶硅生产加工,具体地说,涉及一种单晶硅圆棒夹持装置。
技术介绍
1、硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅。
2、现有技术(公开号:cn217122911u)公开了一种单晶硅棒生产用硅棒夹持固定装置,属于硅棒生产夹持器械
,其技术方案要点包括底板,所述底板的上端面贯穿开设有两个左右分布的滑槽。
3、现有技术通过一组对称的夹持结构控制对称的夹持结构的间距从而将单晶硅棒夹持在装置上的,虽然现有技术能够将单晶硅棒夹持,但是在将单晶硅棒夹持后对其进行切割成多段时需要将每段切断的单晶硅棒夹持在装置上才能对其进行更精细的切割分段,这一过程不但增加了工人的工作量,还会让工作时间增加。
4、有鉴于此特提出本技术。
技术实现思路
1、为解决上述工作量大和工作时间长的技术问题,本技术采用技术方案的基本构思是:
2、一种单晶硅圆棒夹持装置,包括:
3
...【技术保护点】
1.一种单晶硅圆棒夹持装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的单晶硅圆棒夹持装置,其特征在于,所述活夹板(36)的侧壁面开设有半圆形槽,固夹板(44)的壁面也开设有和活夹板(36)壁面同样的半圆形槽。
3.根据权利要求1所述的单晶硅圆棒夹持装置,其特征在于,所述夹持结构还包括活槽(30)、液压杆(31)、活杆(32)和固杆(40),活槽(30)开设在操作台(20)的顶部,液压杆(31)在活槽(30)内固定连接,活杆(32)固定连接在液压杆(31)的端部,固杆(40)固定连接在活槽(30)后壁面处的操作台(20)顶部,活杆(32)的后壁
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅圆棒夹持装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的单晶硅圆棒夹持装置,其特征在于,所述活夹板(36)的侧壁面开设有半圆形槽,固夹板(44)的壁面也开设有和活夹板(36)壁面同样的半圆形槽。
3.根据权利要求1所述的单晶硅圆棒夹持装置,其特征在于,所述夹持结构还包括活槽(30)、液压杆(31)、活杆(32)和固杆(40),活槽(30)开设在操作台(20)的顶部,液压杆(31)在活槽(30)内固定连接,活杆(32)固定连接在液压杆(31)的端部,固杆(40)固定连接在活槽(30)后壁面处的操作台(20)顶部,活杆(32)的后壁面和液压杆(31)的延伸端固定连接,活杆(32)顶部和固杆(40)顶部齐平。
4.根据权利要求3所述的单晶硅圆棒夹持装置,其特征在于,所述夹持结构还包括活边(33)、活滑槽(34)、固边(41)和固滑槽(42),活边(33)固定连接在活杆(32)的顶部,活滑槽(34)开设在活边(33)的顶部,固边(41)固定连接在固杆(40)的顶部,固滑槽(42)开设在固边(41)的顶部,固边(41)顶部和活边(33)顶部齐平。
5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙鹏程,杨浩楠,陈辉,翁伟,田轩伟,张智博,胡耀,
申请(专利权)人:恒利晶硅新材料内蒙古有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。