【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及原子层沉积，特别是涉及一种折流旋转反应器原子层沉积设备。
技术介绍
1、纳米催化剂因其独特的表面效应、尺寸效应和高比表面积等特性，在石油化工、环境保护、能源转换、医药与精细化工等领域展现出重要的应用价值。传统催化剂合成方法(如沉淀法、浸渍法及溶胶-凝胶法)在构筑纳米催化剂时，存在对纳米颗粒尺寸与形貌精准调控的局限性。此类方法通常导致粒径分布不均匀且形貌可控性较差，导致催化剂性能显著波动。由于纳米催化剂的活性本质上依赖于颗粒分散度、活性位点微观结构及其空间分布特性，而传统合成路径面临活性位点空间排布随机、电子结构定向调控能力较差、金属载体相互作用的不可控性，导致纳米催化剂结构控制精度不足、稳定性差、成本高、环境负担重等问题，这些系统性局限凸显了开发新型精准合成催化剂的迫切性，以实现原子级活性中心的可控构筑及稳定性强化。
2、原子层沉积技术(atomic layer deposition，ald)通过金属前驱体和氧化剂(或还原剂)在基底表面连续的自限制表面化学反应实现物种沉积，具有原子级控制精度、良好的保形性、均匀...
【技术保护点】
1.一种折流旋转反应器原子层沉积设备，其特征在于：包括安装平台、保温外壳体、内筒体、折流挡板和旋转驱动机构，所述保温外壳体和所述内筒体的轴线均与所述安装平台的顶面平行，所述内筒体设置于所述保温外壳体内，所述内筒体与所述旋转驱动机构的输出端可拆卸连接，所述内筒体能够绕自身轴线转动，所述折流挡板沿所述内筒体的径向交错设置，且所述折流挡板于所述内筒体的轴线方向设置有多个，所述内筒体的第一端连接原料气仓，所述内筒体内用于盛装催化剂，所述内筒的第二端设置有微孔出气口，所述微孔出气口与所述保温外壳体连通，所述保温外壳体上设置有总出气口。
2.根据权利要求1所述的折流旋...
【技术特征摘要】
1.一种折流旋转反应器原子层沉积设备，其特征在于：包括安装平台、保温外壳体、内筒体、折流挡板和旋转驱动机构，所述保温外壳体和所述内筒体的轴线均与所述安装平台的顶面平行，所述内筒体设置于所述保温外壳体内，所述内筒体与所述旋转驱动机构的输出端可拆卸连接，所述内筒体能够绕自身轴线转动，所述折流挡板沿所述内筒体的径向交错设置，且所述折流挡板于所述内筒体的轴线方向设置有多个，所述内筒体的第一端连接原料气仓，所述内筒体内用于盛装催化剂，所述内筒的第二端设置有微孔出气口，所述微孔出气口与所述保温外壳体连通，所述保温外壳体上设置有总出气口。
2.根据权利要求1所述的折流旋转反应器原子层沉积设备，其特征在于：所述折流挡板倾斜设置于所述内筒体内，且由边缘向中心所述折流挡板逐渐向所述微孔出气口延伸。
3.根据权利要求1所述的折流旋转反应器原子层沉积设备，其特征在于：所述内筒体在轴线方向上包括第一半筒和第二半筒，所述第一半筒和所述第二半筒可拆卸连接。
4.根据权利要求1所述的折流旋转反应器原子层沉积设备，其特征在于：还包括滑板，所述旋转驱动机构固定设置于所述滑板上，所述滑板滑动设置于所述安装平台上，并能够沿着平行于所述内筒体轴线的方向滑动。
5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，冯忠杰，刘瑞林，杨慧敏，
申请(专利权)人：中国科学院山西煤炭化学研究所，
类型：发明
国别省市：
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