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本发明公开了一种折流旋转反应器原子层沉积设备，涉及原子层沉积技术领域，包括安装平台、保温外壳体、内筒体、折流挡板和旋转驱动机构，保温外壳体和内筒体的轴线均与安装平台的顶面平行，内筒体设置于保温外壳体内，内筒体与旋转驱动机构的输出端可拆卸连接...
该专利属于中国科学院山西煤炭化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院山西煤炭化学研究所授权不得商用。

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