一种晶圆产品尺寸测量仪制造技术

本技术公开了一种晶圆产品尺寸测量仪，包括有大理石台面；转动座；悬臂；测量相机，所述测量相机具有四个；其中，所述转动座的转动部上设置有电动夹爪；所述电动夹爪上设置有三个夹指；所述夹指上连接有延伸杆；所述延伸杆一端纵向设置有限位杆。只需要将晶圆放置到支撑帽上直接快速的计算出晶圆的实际平面尺寸，更高精度要求可以旋转支撑帽来测量多个点位取平均值。通过相机缩小检测范围来提高测量精度的思路，通过对标片进行对标，通过两组相机实际的位移差来测量晶圆的实际尺寸。限位杆在外侧时，便于人工取放晶圆；限位杆在向内侧运动时，将晶圆对中的同时还完成了夹持。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶圆测量，尤其涉及一种晶圆产品尺寸测量仪。

技术介绍

1、在玻璃晶圆产品加工制造领域，常常需要对外形加工后的玻璃晶圆进行尺寸测量，因对于加工精度要求较高，常规的方式是采用影像仪的方式进行取点测量，一般是影像仪自动移动来回进行测量多个点位的尺寸并记录实际测量值，这种方式测量时间过长，往往只能适用在产线抽检环节上，如何设计一款能够让产线实现全检的测量设备是加工过程需要的。

2、公开号为cn219104734u中国专利文献公开了一种自动检测荧光缺陷和晶圆定位装置，包括通过螺栓固定在安装底座顶部的安装板，所述安装板的顶部设置有支撑立板，荧光缺陷测量相机设置于所述支撑立板上，所述荧光缺陷测量相机的底部设置有用于提高检测精度的高精度检测镜头，所述安装板的底部通过螺栓连接有检测光源，晶圆定位机构设置于所述安装底座上。该自动检测荧光缺陷和晶圆定位装置，通过高精度检测镜头的设置，可以使该装置可以精确快速检测到荧光缺陷，通过晶圆定位机构内部驱动件均采用精密电机，来提高该装置对晶圆重复定位的精度，同时该装置尺寸较小，操作简单快速，比较适合在自动化设备内部安本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆产品尺寸测量仪，其特征在于：包括有

2.如权利要求1所述的尺寸测量仪，其特征在于：所述转动座的转动部上设置有支撑帽；所述电动夹爪位于所述支撑帽下方，所述延伸杆从所述支撑帽侧壁伸出；所述支撑帽上端设置有多个透气槽；所述支撑帽侧壁设置有与所述透气槽连通的透气孔。

3.如权利要求1-2任一所述的尺寸测量仪，其特征在于：所述大理石台面上方设置有抬高环，所述支撑帽位于所述抬高环内；所述抬高环上端设置有四个红外光源，所述红外光源的上端位于所述支撑帽的下方；所述红外光源分别位于对应的所述测量相机的正下方。

4.如权利要求3的尺寸测量仪，其特征在于：所述抬...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆产品尺寸测量仪，其特征在于：包括有

2.如权利要求1所述的尺寸测量仪，其特征在于：所述转动座的转动部上设置有支撑帽；所述电动夹爪位于所述支撑帽下方，所述延伸杆从所述支撑帽侧壁伸出；所述支撑帽上端设置有多个透气槽；所述支撑帽侧壁设置有与所述透气槽连通的透气孔。

3.如权利要求1-2任一所述的尺寸测量仪，其特征在于：所述大理石台面上方设置有抬高环，所述支撑帽位于所述抬高环内；所述抬高环上端设置有四个红外光源，所述红外光源的上端位于所述支撑帽的下方；所述红外光源分别位于对应的所述测量相机的正下方。

4.如权利要求3的尺寸测量仪，其特征在于：所述抬高环下端设置有多个沿圆周方向均匀分布的支撑柱；所述支撑柱的下端设置在所述大理石台面上；所述支撑柱的外壁对称设置有两个平行设置的缺口。

5.如权利要求1-2任一所述的尺寸测量仪，其特征在于：所述悬臂上设置有挂盘，所述挂盘的轴线与所述转动座的轴线重合；所述测量相机设置在所述挂盘的外周。

6.如权利要求5所述的尺寸测量仪，其特征在于：所述测量相...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜志超，程司军，马明阳，吴怡平，陈跃华，陈时兴，
申请(专利权)人：浙江百盛光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：