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本技术公开了一种晶圆产品尺寸测量仪，包括有大理石台面；转动座；悬臂；测量相机，所述测量相机具有四个；其中，所述转动座的转动部上设置有电动夹爪；所述电动夹爪上设置有三个夹指；所述夹指上连接有延伸杆；所述延伸杆一端纵向设置有限位杆。只需要将晶圆...
该专利属于浙江百盛光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江百盛光电股份有限公司授权不得商用。

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