【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种溅射离子泵(sip)模块以及包括这种sip模块的真空泵。此外，本专利技术涉及一种组装这种sip模块的方法。
技术介绍
1、通常已知的sip包括一个或多个阳极，阳极被构建为管或圆柱形开口，其中磁场平行于管的中心轴线定向。阳极被阴极元件围绕。特别地，阴极元件沿中心轴线以一定距离与阳极的圆柱形开口相对布置。阳极和阴极之间生成强电场。由于磁场，阳极单元内电子的路径被增强，其导致真空腔内气体原子和分子电离。产生的离子被加速撞击阴极元件。在加速离子冲击阴极元件时，它们将会被埋入阴极材料内，或者将阴极材料溅射到泵的其他表面上。持续溅射的化学活性阴极材料充当吸气剂，其然后通过化学吸附和物理吸附两者将气体抽空，从而产生净泵送作用。
2、在典型的sip中，泵送元件(即包括阴极元件和阳极)被构造在可以固定到真空设备的真空腔内，并且磁场由设置在sip的真空腔外部的极靴和磁体提供。这种设计无法转移到法兰安装的装置，并且将需要在真空腔内的额外构建空间，并且需要不必要的大型法兰来将sip的所有功能部件整合到法兰的面内。另外，现有技术的s...
【技术保护点】
1.一种溅射离子泵SIP模块，其包括
2.根据权利要求1所述的溅射离子泵模块，其中，所述框架结构包括基部元件和连接到所述基部元件的至少一个或多个框架侧部元件。
3.根据权利要求2所述的溅射离子泵模块，其中，所述框架结构包括顶部元件，其中，所述至少一个或多个框架侧部元件从所述基部元件延伸到所述顶部元件。
4.根据权利要求3所述的溅射离子泵模块，其中，所述顶部元件包括用于接收所述至少一个或多个框架侧部元件的开口，并且还包括用于固定所述顶部元件在所述框架侧部元件上的位置的固定元件。
5.根据权利要求1至4中任一项的溅射离子泵模...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种溅射离子泵sip模块，其包括
2.根据权利要求1所述的溅射离子泵模块，其中，所述框架结构包括基部元件和连接到所述基部元件的至少一个或多个框架侧部元件。
3.根据权利要求2所述的溅射离子泵模块，其中，所述框架结构包括顶部元件，其中，所述至少一个或多个框架侧部元件从所述基部元件延伸到所述顶部元件。
4.根据权利要求3所述的溅射离子泵模块，其中，所述顶部元件包括用于接收所述至少一个或多个框架侧部元件的开口，并且还包括用于固定所述顶部元件在所述框架侧部元件上的位置的固定元件。
5.根据权利要求1至4中任一项的溅射离子泵模块，其中，所述壳包括两个或更多个壳元件。
6.根据权利要求5所述的溅射离子泵模块，其中，所述壳为圆柱形，并且所述壳元件为半圆柱形或部分圆柱形。
7.根据权利要求5或6所述的溅射离子泵模块，其中，每个壳元件都相同地构建。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的溅射离子泵模块，其中，每个壳元件包括至少一个磁体和至少一个阴极元件。
9.根据权利要求5至8中任一项所述的溅射离子泵模块，其中，每个壳元件由磁性材料构建并且用作极靴。
10.根据权利要求5至9中任一项所述的溅射离子泵模块，其中，所述壳元件通过所述磁体的磁力彼此连接。
11.根据权利要求5至10中任一项所述的溅射离子泵模块，其中，不存在用于将所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：D·A·克莱门特，
申请(专利权)人：埃地沃兹真空泵有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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