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一种溅射离子泵SIP模块，其包括框架结构、连接到框架结构的阳极、以及连接到框架结构的壳，其中该壳至少部分地围绕框架结构和阳极，其中该壳包括至少一个磁体和至少一个阴极元件。...
该专利属于埃地沃兹真空泵有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹真空泵有限责任公司授权不得商用。

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