【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
1、因此，提供使用液体作为介质的液体过滤器装置以从cvd和pecvd半导体过程中的低压前级管线中的气体装载的颗粒流分离颗粒。
2、在一个形式中，用于从半导体过程进行半导体过程废物分离的液体过滤器装置，包括：壳体，所述壳体具有过滤器室、过程废物入口、过程废物出口和馈送管，所述馈送管与过程废物入口连通并且所述馈送管具有与过滤器室连通的馈送管出口。过滤器室形成在其中保存过滤液体的液体贮存器，并且过程废物出口与过滤器室连通。偏转表面插入在过滤液体和馈送管出口之间，所述偏转表面使过程废物偏转以防止从馈送管出口流出的过程废物与过滤液体直接撞击并且进一步从过程废物吸收热量。
3、在一个方面，偏转表面由板(诸如不锈钢)形成以从过程废物吸收热量并且由此形成散热器。例如，板可以是无孔的。
4、在另一个形式中，用于从半导体过程进行半导体过程废物分离的液体过滤器装置，包括：壳体，所述壳体具有过滤器室、过程废物入口、过程废物出口和馈送管，所述馈送管与过程废物入口连通...
【技术保护点】
1.一种用于半导体过程废物的液体过滤器装置，所述液体过滤器装置包括：
2.根据权利要求1的液体过滤器装置，其中，所述偏转表面由不锈钢板形成以从过程废物吸收热量。
3.根据权利要求2的液体过滤器装置，其中，所述不锈钢板是无孔的。
4.根据权利要求1的液体过滤器装置，其中，所述馈送管包括开口远端端部，所述开口远端端部形成所述馈送管出口。
5.根据权利要求1的液体过滤器装置，其中，所述馈送管出口具有直径，所述偏转表面具有外部周长，并且所述偏转表面的所述外部周长大于所述馈送管出口的所述直径。
6.根据权利要求1的液体...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于半导体过程废物的液体过滤器装置，所述液体过滤器装置包括：
2.根据权利要求1的液体过滤器装置，其中，所述偏转表面由不锈钢板形成以从过程废物吸收热量。
3.根据权利要求2的液体过滤器装置，其中，所述不锈钢板是无孔的。
4.根据权利要求1的液体过滤器装置，其中，所述馈送管包括开口远端端部，所述开口远端端部形成所述馈送管出口。
5.根据权利要求1的液体过滤器装置，其中，所述馈送管出口具有直径，所述偏转表面具有外部周长，并且所述偏转表面的所述外部周长大于所述馈送管出口的所述直径。
6.根据权利要求1的液体过滤器装置，其中，所述壳体包括在所述液体贮存器和所述过程废物出口之间的排出室，以将过滤后过程废物流从所述液体贮存器引导到所述过程废物出口。
7.根据权利要求6的液体过滤器装置，其中，所述壳体包括内部导管，所述内部导管与所述液体贮存器和所述排出室流体连通，以将过滤后过程废物流从所述液体贮存器引导到所述排出室。
8.根据权利要求1的液体过滤器装置，还包括过滤液体控制系统，用于控制进入和流出所述液体贮存器的过滤液体流。
9.根据权利要求8的液体过滤器装置，其中，所述过滤液体控制系统包括控制器和流体回路，所述控制器控制所述流体回路以调节进入和流出所述液体贮存器的过滤液体流。
10.根据权利要求8的液体过滤器装置，还包括至少一个支撑件，以将所述偏转表面支撑在所述液体贮存器中的过滤液体的上方。
11.根据权利要求1的液体过滤器装置，还包括热屏蔽件，所述热屏蔽件包括杯形主体并且所述杯形主体形成所述偏转表面并且形成第一容积...
【专利技术属性】
技术研发人员：I·马哈维利，
申请(专利权)人：埃地沃兹真空泵有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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