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一种用于气体/固体分离的液体过滤器装置，包括：具有过滤器室、半导体过程气体入口和过程气体出口的壳体。过滤器室形成液体贮存器，并且半导体过程气体入口和过程气体出口与过滤器室连通。壳体还包括过滤液体入口和过滤液体出口，所述过滤液体入口和过滤液体...
该专利属于埃地沃兹真空泵有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹真空泵有限责任公司授权不得商用。

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