【技术实现步骤摘要】
本技术属于cassette上下料,特别是涉及一种双cassette上下料辅机。
技术介绍
1、cassette即料盒(晶圆框架盒),在半导体封测行业,用于装载支撑环,支撑环上贴有一层膜,膜上粘附芯片进行切割,测试等工艺。agv即automated guided vehicle,是指自动导引运输车。随着半导体封测工厂agv自动导引运输车的推广应用,许多需要人工上下料的设备,可以使用agv上下料,用于替代人力劳动,但工厂一些已经采购的设备,不符合agv自动导引运输车上下料的需求,这就需要对原有设备的上料方式进行升级,使其符合agv上料的需求。因此,针对以上问题,本技术提供的一种双cassette上下料辅机具有重要意义。
技术实现思路
1、本技术提供了一种双cassette上下料辅机,通过上下层的布置,错位搬运方式,占用最小的空间,实现双cassette(一用一备)上下料;上料台与下料台通过三点检测的方式,移动工作台通过四点检测的方式,可自动侦测cassette是否放平;辅机与主机通过定位卡槽快
...【技术保护点】
1.一种双Cassette上下料辅机,其特征在于,包括急停开关、触摸屏、安全光幕、Cassette平移机构、Cassette上料台升降机、Cassette下料台升降机;
2.根据权利要求1所述的一种双Cassette上下料辅机,其特征在于,所述限位块的数量为两对,并对称分布于Cassette工作台的顶部两侧,且两对所述限位块之间的间距与Cassette本体的宽度对应相等。
3.根据权利要求1所述的一种双Cassette上下料辅机,其特征在于,所述定位Pin分别安装在Cassette上料台和Cassette下料台上,所述Cassette上料台和C
...【技术特征摘要】
1.一种双cassette上下料辅机,其特征在于,包括急停开关、触摸屏、安全光幕、cassette平移机构、cassette上料台升降机、cassette下料台升降机;
2.根据权利要求1所述的一种双cassette上下料辅机,其特征在于,所述限位块的数量为两对,并对称分布于cassette工作台的顶部两侧,且两对所述限位块之间的间距与cassette本体的宽度对应相等。
3.根据权利要求1所述的一种双cassette上下料辅机,其特征在于,所述定位pin分别安装在cassette上料台和c...
【专利技术属性】
技术研发人员:张剑胜,
申请(专利权)人:上海奥硅科半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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