本实用新型专利技术公开了带自动防护罩的晶圆边缘膜仿形切割装置，涉及半导体封装技术领域；包括外侧固定连接有握把的翻盖，所述翻盖内侧靠近左右两侧处均固定连接有支撑臂，所述翻盖上开设有第一开孔，所述第一开孔内活动连接有环切机构，所述翻盖外侧固定连接有气缸，所述翻盖上开设有第二开孔，所述气缸活塞杆穿过第二开孔延伸至翻盖内。本实用新型专利技术设计了一款带自动防护罩的晶圆边缘膜仿形切割装置，通过护罩为且切割用的刀片提供防护，且护罩被第一弹簧、第二弹簧和气缸控制。这款切割装置采用纯机械结构的原理方式，结构简单，控制简单，同时又能够对切割刀有效的进行防护，消除操作人员的安全风险。的安全风险。的安全风险。
【技术实现步骤摘要】
带自动防护罩的晶圆边缘膜仿形切割装置
[0001]本技术涉及半导体封装
，具体为带自动防护罩的晶圆边缘膜仿形切割装置。
技术介绍
[0002]半导体封装测试行业中，半导体晶圆在完成减薄工艺后，需要接着进行贴膜工艺，晶圆贴膜后如图9所示，在对减薄后的半导体晶圆进行贴膜工艺时，往往需要使用晶圆边缘膜切割装置，切除贴好膜的半导体晶圆四周多余废膜，切割多余膜后的晶圆如图10所示。
[0003]现有的切割装置如公开号为CN214394507U的一种晶圆覆膜切割机，其包括机架，所述机架上设有供覆膜卷放置的置膜架和供待切割覆膜放置的切割台，所述切割台上方设置有用于切割晶圆覆膜的切割组件，所述切割组件包括切割滚轮，所述切割组件与所述机架间设有用于限定切割组件作圆周运动的转动件，解决了裁切后的晶圆覆膜边缘易产生毛边，不是完整的正圆，导致晶圆覆膜与晶圆不贴合的问题。本申请具有保证晶圆覆膜切割后的完整性，减少晶圆覆膜毛边的产生的效果。
[0004]而减薄后的半导体晶圆的贴膜工艺中，由于需要人工完成一些操作，存在着人触碰切割刀的风险，上述的装置中其切割滚轮之间暴露在外部，没有护罩。为避免此风险，晶圆边缘膜切割装置需要一款切割刀防护罩。
技术实现思路
[0005]本技术解决的技术问题在于克服现有技术的刀片不带防护等缺陷，提供带自动防护罩的晶圆边缘膜仿形切割装置。所述带自动防护罩的晶圆边缘膜仿形切割装置具有刀片带有防护等特点。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：带自动防护罩的晶圆边缘膜仿形切割装置，包括外侧固定连接有握把的翻盖，所述翻盖内侧靠近左右两侧处均固定连接有支撑臂，所述翻盖上开设有第一开孔，所述第一开孔内活动连接有环切机构，所述翻盖外侧固定连接有气缸，所述翻盖上开设有第二开孔，所述气缸活塞杆穿过第二开孔延伸至翻盖内；
[0007]所述支撑臂由上下设置的活动臂和固定壁构成，所述活动臂和固定壁之间通过转轴活动连接，且活动臂和固定壁之间活动连接有气弹簧，所述活动臂与翻盖固定连接，所述活动臂底部设有与固定壁固定连接的微动开关；
[0008]所述环切机构包括旋转轴，所述旋转轴位于第一开孔内，所述旋转轴一端延伸至翻盖外侧，并固定连接有旋转摇柄，所述旋转轴另一端延伸至翻盖内侧，所述翻盖内侧位于第一开孔处固定连接有轴承盖，所述轴承盖内设有与旋转轴固定连接的芯轴，所述轴承盖与芯轴之间活动连接有第一轴承，所述芯轴底部固定连接有连接板，所述连接板底部设有导杆，所述导杆右侧设有导向机构；
[0009]所述导向机构包括固定连接在导杆右端的导向轴支架，所述导向轴支架右侧依次
设有第一轴承座和第二轴承座，所述第一轴承座和第二轴承座上均开设有两个前后设置的第一穿孔，且两个第一穿孔内固定连接有直线轴承，所述第一轴承座上的直线轴承内活动连接有横向设置的X导向轴，所述第一轴承座与导向轴支架之间固定连接有限位套，且第一轴承座与限位套紧贴，所述导向轴支架上开设有第二穿孔，所述X导向轴一端贯穿限位套内腔并插接在第二穿孔内，且X导向轴另一端与第二轴承座固定连接，所述第二轴承座上的直线轴承内活动连接有纵向设置的Y导向轴，所述Y导向轴顶端延伸至第二轴承座上方固定连接有防护顶板，且Y导向轴底端延伸至第二轴承座下方固定连接有护罩，所述X导向轴和Y导向轴上分别套设有第一弹簧和第二弹簧，所述第一弹簧位于第一轴承座和第二轴承座之间，所述第二弹簧位于第二轴承座和护罩之间；
[0010]所述第一轴承座底部固定连接有刀座，所述刀座底部通过螺钉固定连接有刀片，所述护罩位于刀片右侧，所述防护顶板位于气缸下方，且气缸活塞杆底端与防护顶板顶部贴合。
[0011]优选的，所述刀座前后两侧均通过螺钉安装有加热片，所述加热片外侧固定连接有压板，所述刀座与第一轴承座之间固定连接有隔热板。
[0012]优选的，所述第一开孔内设有导电滑环，所述翻盖外侧位于第一开孔处固定连接有导电滑环盖，且导电滑环盖罩在导电滑环外，所述导电滑环盖顶部固定连接有第二轴承，所述旋转轴贯穿第二轴承内侧，所述微动开关和加热片均通过电线与导电滑环连接，所述气缸通过导电滑环和电线与微动开关连接，所述第一轴承上固定连接有用于固定电线的扎线座，所述导电滑环通过电线与外部电源接通。
[0013]优选的，所述第一轴承座上开设有第一通孔，且第一通孔两端处均固定连接有第三轴承，所述第一通孔内设有刀轴，且刀轴通过第三轴承与第一通孔活动连接，所述刀轴外侧位于两个第三轴承之间处套有角度限位轮，通过第三轴承与第一通孔活动连接，所述刀轴另一端延伸至第一轴承座下方与隔热板固定连接。
[0014]优选的，所述护罩右侧活动连接有两个皮带轮，两个所述皮带轮上均套有圆皮带。
[0015]优选的，所述连接板底部固定连接有固定块，所述固定块上开设有第二通孔，所述导杆插接在第二通孔内，所述导杆上开设有滑槽，所述固定块前侧开设有螺纹孔，且螺纹孔内螺纹连接有旋钮，所述旋钮上的螺杆后端插接在滑槽内，且与滑槽相抵。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术设计了一款带自动防护罩的晶圆边缘膜仿形切割装置，通过护罩为且切割用的刀片提供防护，且护罩被第一弹簧、第二弹簧和气缸控制。这款切割装置采用纯机械结构的原理方式，结构简单，控制简单，同时又能够对切割刀有效的进行防护，消除操作人员的安全风险。
附图说明
[0017]图1为本技术立体图；
[0018]图2为本技术支撑臂立体图；
[0019]图3为本技术翻盖立体图；
[0020]图4为本技术环切机构和切刀组件及导向机构立体图；
[0021]图5为本技术环切机构和切刀组件及导向机构侧向立体图；
[0022]图6为本技术环切机构和切刀组件及导向机构爆炸图；
[0023]图7为本技术环切机构和切刀组件及导向机构结构示意图；
[0024]图8为本技术图6中A处放大图；
[0025]图9为贴膜后的晶圆示意图；
[0026]图10为切割多余膜后的晶圆示意图。
[0027]图中标号：1、翻盖；2、支撑臂；3、微动开关；4、气缸；5、旋转摇柄；6、导电滑环盖；7、导杆；8、轴承盖；9、导向轴支架；10、第一轴承座；11、防护顶板；12、第二轴承座；13、护罩；14、皮带轮；15、旋转轴；16、导电滑环；17、固定块；18、旋钮；19、X导向轴；20、直线轴承；21、刀轴；22、隔热板；23、压板；24、刀座；25、加热片；26、刀片；27、圆皮带；28、Y导向轴；29、角度限位轮；30、第一轴承；31、芯轴；32、连接板；33、扎线座；34、第二轴承；35、第一弹簧；36、第二弹簧；37、第三轴承；38、限位套。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.带自动防护罩的晶圆边缘膜仿形切割装置，包括外侧固定连接有握把的翻盖(1)，其特征在于：所述翻盖(1)内侧靠近左右两侧处均固定连接有支撑臂(2)，所述翻盖(1)上开设有第一开孔，所述第一开孔内活动连接有环切机构，所述翻盖(1)外侧固定连接有气缸(4)，所述翻盖(1)上开设有第二开孔，所述气缸(4)活塞杆穿过第二开孔延伸至翻盖(1)内；所述支撑臂(2)由上下设置的活动臂和固定壁构成，所述活动臂和固定壁之间通过转轴活动连接，且活动臂和固定壁之间活动连接有气弹簧，所述活动臂与翻盖(1)固定连接，所述活动臂底部设有与固定壁固定连接的微动开关(3)；所述环切机构包括旋转轴(15)，所述旋转轴(15)位于第一开孔内，所述旋转轴(15)一端延伸至翻盖(1)外侧，并固定连接有旋转摇柄(5)，所述旋转轴(15)另一端延伸至翻盖(1)内侧，所述翻盖(1)内侧位于第一开孔处固定连接有轴承盖(8)，所述轴承盖(8)内设有与旋转轴(15)固定连接的芯轴(31)，所述轴承盖(8)与芯轴(31)之间活动连接有第一轴承(30)，所述芯轴(31)底部固定连接有连接板(32)，所述连接板(32)底部设有导杆(7)，所述导杆(7)右侧设有导向机构；所述导向机构包括固定连接在导杆(7)右端的导向轴支架(9)，所述导向轴支架(9)右侧依次设有第一轴承座(10)和第二轴承座(12)，所述第一轴承座(10)和第二轴承座(12)上均开设有两个前后设置的第一穿孔，且两个第一穿孔内固定连接有直线轴承(20)，所述第一轴承座(10)上的直线轴承(20)内活动连接有横向设置的X导向轴(19)，所述第一轴承座(10)与导向轴支架(9)之间固定连接有限位套(38)，且第一轴承座(10)与限位套(38)紧贴，所述导向轴支架(9)上开设有第二穿孔，所述X导向轴(19)一端贯穿限位套(38)内腔并插接在第二穿孔内，且X导向轴(19)另一端与第二轴承座(12)固定连接，所述第二轴承座(12)上的直线轴承(20)内活动连接有纵向设置的Y导向轴(28)，所述Y导向轴(28)顶端延伸至第二轴承座(12)上方固定连接有防护顶板(11)，且Y导向轴(28)底端延伸至第二轴承座(12)下方固定连接有护罩(13)，所述X导向轴(19)和Y导向轴(28)上分别套设有第一弹簧(35)和第二弹簧(36)，所述第一弹簧(35)位于第一轴承座(10)和第二轴承座(12)之间，所述第二弹簧(36)位于第二轴承座(12)和护罩(13)之间；所述第一轴承座(10)底部固定连接有刀座(24)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张剑胜，米辉，
申请(专利权)人：上海奥硅科半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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