温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种双Cassette上下料辅机，包括急停开关、触摸屏、安全光幕、Cassette平移机构、Cassette上料台升降机、Cassette下料台升降机。本技术通过上下层的布置，错位搬运方式，占用最小的空间，实现双Cassette...
该专利属于上海奥硅科半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海奥硅科半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。