【技术实现步骤摘要】
本申请涉及氢气传感器，具体涉及一种氢气传感器及其制备方法。
技术介绍
1、在特高压线路的建设中，充油式电压互感套管和电流互感套管广泛应用于变压器和线路的连接处。充油式电压互感套管和电流互感套管在工作时，由于电网负载的动态变化，温度会在3～5min之内迅速提升，从而导致绝缘油裂解产生特征气体，特别是氢气。如果套管内绝缘油的氢气量过高，将加速绝缘油老化，缩短绝缘材料使用寿命，甚至造成事故。故对绝缘油中含氢气量检测是评判电网中绝缘油性能的重要指标，关乎电网安全。
2、目前，对电网绝缘油中对氢气测量主要采用抽取绝缘油样本，带回分析的方法来判定绝缘油的质量，其主要缺陷为检测周期长，检测数据非连续且滞后，并会造成绝缘油的损耗与污染。
3、现有技术中，可以采用氢气传感器来解决无法连续检测的问题，但是氢气传感器对于工作环境温度的要求十分严格，工作时需要升温并维持在设定的工作温度，面对类似于上述温度在3～5min之内迅速提升的场景时，氢气传感器对迅速变化的环境温度的响应是存在延迟的，这就导致氢气传感器检测出的氢气浓度与当时的环境温...
【技术保护点】
1.一种氢气传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于，所述工作区位于所述梁岛结构的正上方。
3.根据权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于，所述梁岛结构在所述功能层上的正投影能够覆盖所述工作区。
4.根据权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于，所述梁岛结构包括连接的岛结构和至少两个梁结构，所述梁结构与所述支撑区连接，各所述梁结构在所述岛结构的周向上间隔分布，所述岛结构悬空设置于所述空腔上。
5.根据权利要求4所述的氢气传感器，其特征在于，所述隔离槽位于所述岛结构的周侧，所述梁结构位于相邻...
【技术特征摘要】
1.一种氢气传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于，所述工作区位于所述梁岛结构的正上方。
3.根据权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于，所述梁岛结构在所述功能层上的正投影能够覆盖所述工作区。
4.根据权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于，所述梁岛结构包括连接的岛结构和至少两个梁结构，所述梁结构与所述支撑区连接，各所述梁结构在所述岛结构的周向上间隔分布，所述岛结构悬空设置于所述空腔上。
5.根据权利要求4所述的氢气传感器，其特征在于，所述隔离槽位于所述岛结构的周侧，所述梁结构位于相邻的所述隔离槽之间。
6.根据权利要求4所述的氢气传感器，其特征在于，所述梁岛结构满足下述特征中的至少之一：
7.根据权利要求1-6中任一项所述的氢气传感器，其特征在于，所述隔离槽的宽度为10-500μm。
8.根据权利要求1-6中任一项所述的氢气传感器，其特征在于，所述衬底层还包括位于所述梁岛结构外围的屏蔽层，所述屏蔽层用于形成所述梁岛结构和所述支撑区之间的耗尽层。
9.根据权利要求8所述的氢气传感器，其特征在于，所述屏蔽层包括至少一个屏蔽结构，所述屏蔽结构位于所述梁结构与所述支撑区的连接区域，所述屏蔽结构隔离所述梁结构与所述支撑区。
10.根据权利要求9所述的氢气传感器，其特征在于，所述梁结构包括连接的支撑段和连接段，所述连接段背离所述支撑段的一端与所述岛结构连接，所述支撑段嵌设于所述支撑区中，所述屏蔽结构围设于所述支撑段周侧。
11.根据权利要求1-6中任一项所述的氢气传感器，其特征在于，还包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：周元楷，沈方平，
申请(专利权)人：苏州芯镁信电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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