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本申请提供一种氢气传感器及其制备方法，氢气传感器包括衬底层、功能层和至少一个隔离槽，衬底层包括支撑区和功能区，功能区设有空腔和梁岛结构，空腔位于梁岛结构的下方；功能层包括具有控温结构和气敏结构的工作区，梁岛结构用于支撑工作区；至少一个隔离槽...
该专利属于苏州芯镁信电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯镁信电子科技有限公司授权不得商用。

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