【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其是涉及一种半导体测试机的在线测试方法、半导体测试机及测试系统。
技术介绍
1、随着国内集成电路产业发展，半导体测试机孕育而生。半导体测试机的性能优劣直接关系企业生产的器件质量和生产效率。相关技术中，晶圆厂客户在online模式(在线模式)下，需要在测wafer跑货前，手动对测试机做不同自检项的自检测试，需要人工根据经验判断本阶段是否需要自检，而且自检时也需要人为手动执行自检操作，待自检结束后通过人工判定结果，确认通过后，才会手动关闭并完成自检，最终通过eap(equipmentautomation program，设备自动化系统)进行约货和跑货，如果下次需要自检就需要停止约货和跑货，影响晶圆厂的在线量产。因此，现有的自检方案需要投入较高的人工成本，自检的灵活性和自动程度较低，极大的影响online模式下的测试效率，而online模式的一个重要特点在于自动化测试和测试效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种半导体测试机的在线测试方法、半导体测试机及测试...
【技术保护点】
1.一种半导体测试机的在线测试方法，其特征在于，所述半导体测试机预先配置自检计划，所述自检计划包括：至少一个自检项、以及每个自检项对应的自检信息；所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述自检信息包括自检时间，自检周期和/或自检频率，所述通过获取自检计划中至少一个自检项的自检信息判断是否存在具有自检需求的至少一个目标自检项，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述自检逻辑和所述测试指令下发的时间信息，判断是否存在具有自检需求的至少一个目标自检项，还包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种半导体测试机的在线测试方法，其特征在于，所述半导体测试机预先配置自检计划，所述自检计划包括：至少一个自检项、以及每个自检项对应的自检信息；所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述自检信息包括自检时间，自检周期和/或自检频率，所述通过获取自检计划中至少一个自检项的自检信息判断是否存在具有自检需求的至少一个目标自检项，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述自检逻辑和所述测试指令下发的时间信息，判断是否存在具有自检需求的至少一个目标自检项，还包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，生成自检逻辑还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，如果存在具有自检需求的所述至少一个目标自检项，则根据所述至少一个目标自检项...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄超，安亚宁，郑江浩，李成霞，李赛飞，林敏，
申请(专利权)人：杭州广立测试设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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