【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆测试，尤其是涉及一种自动化测试方法、系统、电子设备和存储介质。
技术介绍
1、在晶圆电性测试领域中，晶圆产品在研发阶段采用测试方案集合方式（可对一批次中不同晶圆差异化测试和每个晶圆中不同die差异化测试）对一批次晶圆进行差异化测试，测试晶圆上特定结构的电性参数。目前，已有的电性测试设备在对晶圆测试过程中，只能在离线模式下采用测试方案集合方式进行差异化测试，靠人工在测试机台实时操作，无法实现全部自动化测试的需求。若fab厂（fabrication，晶圆厂）想采用测试方案集合方式对晶圆进行差异化测试时，现有的自动化测试方案无法满足其自动化测试流程的需求。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种自动化测试方法、系统、电子设备和存储介质，以在online（在线）模式下支持测试方案集合方式测试，满足online模式下差异化测试的需求。
2、第一方面，本专利技术实施例提供了一种自动化测试方法，方法包括：eap系统下发需测试批次晶圆的目标参数和校验等级至测...
【技术保护点】
1.一种自动化测试方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述测试相关文件包括：测试计划文件、差异化电性测试方案、测试算法文件，所述差异化电性测试方案用于定义每个晶圆差异化的测试内容。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试机台将所述目标参数与所述配方参数进行唯一性匹配之后，还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述唯一性匹配检测还包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述多种...
【技术特征摘要】
1.一种自动化测试方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述测试相关文件包括：测试计划文件、差异化电性测试方案、测试算法文件，所述差异化电性测试方案用于定义每个晶圆差异化的测试内容。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试机台将所述目标参数与所述配方参数进行唯一性匹配之后，还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述唯一性匹配检测还包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述多种匹配非唯一性情况包括：第一情况、第二情况、第三情况和第四情况；
7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述测试机台将所述目标参数与所述配方参数进行唯一性匹配检测之后，还包括：
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【专利技术属性】
技术研发人员：汪立夫，李成霞，李赛飞，
申请(专利权)人：杭州广立测试设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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