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本发明提供了一种自动化测试方法、系统、电子设备和存储介质，包括：EAP系统下发需测试批次晶圆的目标参数和校验等级至测试机台，测试机台获取已定义的差异化测试配方文件和普通配方文件的配方参数；测试机台将目标参数与配方参数进行唯一性匹配检测：若唯...
该专利属于杭州广立测试设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州广立测试设备有限公司授权不得商用。

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