本发明专利技术涉及蓝宝石晶体生长技术领域，公开了一种用于长晶炉的高温测量装置，包括底座，所述底座的上端面安装有外炉体，所述连接臂的上端部设置有支架，所述支架上安装有高精度伺服电机，所述支架和密封板之间连接有拉料通道，所述外炉体的内部设置有内炉体，所述内炉体的内部开设有惰性气体腔，所述惰性气体腔的底部中间位置设置有高频电感加热架，所述高频电感加热架上端设置有石英坩埚。本发明专利技术充分利用伸长内管的运动属性，在冷却腔内填充冷却介质，当伸长内管伸入到内炉体和外炉体的间隙中，冷却介质液化放热，当伸长内管位于内炉体时，冷却介质汽化放热，从而吸收移动式测量座内部的热量，达到降温的目的，实现循环式的降温。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蓝宝石晶体生长，特别涉及一种用于长晶炉的高温测量装置。
技术介绍
1、目前，通常采用泡生法生长大尺寸的蓝宝石晶体，采用泡生法生长晶体大尺寸蓝宝石晶体的大致过程如下：向坩埚内一次性加入粉状的氧化铝原料，氧化铝原料用于生长蓝宝石晶体，然后将蓝宝石晶体生长炉开机，对坩埚加热使氧化铝原料熔化为熔融状的熔汤，之后将一个小的籽晶引入熔汤中，从而启动蓝宝石晶体的生长过程，然后通过持续旋转并且提拉蓝宝石晶体进行引晶，整个过程均在长晶炉内进行处理。
2、现有的长晶炉在使用时存在诸多的技术缺陷，第一晶体的生长需要维持稳定的温度，传统的测温方式是在长晶炉内几个固定的位置安装测温仪，对坩埚的不同位置温度进行监测，但此举导致测温范围较小，容易引起坩埚不同位置补温不足，出现温差，降低产品质量；第二坩埚的容积有限，导致一次性加入坩埚内的氧化铝原料有限，这限制了最终得到的蓝宝石晶体的尺寸，不利于生长出更大尺寸的蓝宝石晶体。
3、综上所述，考虑到现有设施满足不了工作使用需求，为此，我们提出一种用于长晶炉的高温测量装置。
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【技术保护点】
1.一种用于长晶炉的高温测量装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上端面安装有外炉体(2)，所述外炉体(2)的上端面设置有密封板(101)，所述底座(1)的侧面竖直连接有连接臂(3)，所述连接臂(3)的上端部设置有支架(4)，所述支架(4)上安装有高精度伺服电机(5)，所述支架(4)和密封板(101)之间连接有拉料通道(6)，所述外炉体(2)的内部设置有内炉体(15)，所述内炉体(15)的内部开设有惰性气体腔(10)，所述惰性气体腔(10)的底部中间位置设置有高频电感加热架(14)，所述高频电感加热架(14)上端设置有石英坩埚(13)，所述拉料通道(6)内的提拉杆(11)向下...
【技术特征摘要】
1.一种用于长晶炉的高温测量装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上端面安装有外炉体(2)，所述外炉体(2)的上端面设置有密封板(101)，所述底座(1)的侧面竖直连接有连接臂(3)，所述连接臂(3)的上端部设置有支架(4)，所述支架(4)上安装有高精度伺服电机(5)，所述支架(4)和密封板(101)之间连接有拉料通道(6)，所述外炉体(2)的内部设置有内炉体(15)，所述内炉体(15)的内部开设有惰性气体腔(10)，所述惰性气体腔(10)的底部中间位置设置有高频电感加热架(14)，所述高频电感加热架(14)上端设置有石英坩埚(13)，所述拉料通道(6)内的提拉杆(11)向下延伸进入到惰性气体腔(10)内，所述提拉杆(11)的下端连接有晶体棒(12)；
2.根据权利要求1所述的一种用于长晶炉的高温测量装置，其特征在于：所述滑槽(25)的中部转动设置有轨道齿轮(33)，所述环形运动轨道(20)的外壁上均匀分布有和轨道齿轮(33)相作用的轮齿(21)，所述轨道齿轮(33)套接在定位轴(31)的下端部，所述定位轴(31)的上端部通过第二阻尼轴承(30)和移动式测量座(24)的内部固定，所述定位轴(31)和滑槽(25)上槽面接触的位置设置有定位轴承(32)。
3.根据权利要求2所述的一种用于长晶炉的高温测量装置，其特征在于：所述定位轴(31)上并位于第二阻尼轴承(30)和定位轴承(32)之间的位置套接有槽轮(34)，所述槽轮(34)轮面上均匀分布有若干组轮槽(35)，所述轮槽(35)供驱动柱(36)在运动的过程中伸入，所述驱动柱(36)竖直焊接在曲柄块(37)的下端部，所述曲柄块(37)的上端部和第一伺服电机(38)的输出轴固定，所述第一伺服电机(38)竖直固定在移动式测量座(24)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种用于长晶炉的高温测量装置，其特征在于：所述移动式测量座(24)的内部向上开设有导料斜槽(103)，所述导料斜槽(103)位于卷绕座(40)的下方，所述导料斜槽(103)摆动设置有注射管(50)，所述注射管(50)的中部两侧对称焊接有曲形安装块(52)，每组所述曲形安装块(52)上均焊接有短轴(53)，每组所述短轴(53)均利用第一轴承座(54)和导料斜槽(103)的槽壁固定，所述注射管(50)的中部靠上位置设置有和牵引绳(48)相作用的连接环(51)，所述注射管(50)远离导料斜槽(103)的一端连接有波纹减速管(55)，所述波纹减速管(55)的内管壁上设置有减速褶皱面(56)，当所述注射管(50)下落时，波纹减速管(55)弯曲进入到石英坩埚(13)内。
5.根据权利要求4所述的一种用于长晶炉的高温测量装置，其特征在于：所述移动式测量座(24)的内部并向背面倾斜贯穿设置有对接管(60)，所述对接管(60)的下管口位于导料斜槽(103)内，所述对接管(60)内活动设置有伸长内管(61)，所述伸长内管(61)的两侧对称焊接有滑杆(62)，所述对接管(60)的内壁上开设有供滑杆(62)运动的杆槽(63)，所述伸长内管(61)...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹晓光，李峰，邵秋新，张同雷，
申请(专利权)人：涌淳半导体无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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