一种电子束能量分析仪制造技术

本发明专利技术涉及电子枪设备技术领域，公开了一种电子束能量分析仪，包括：聚焦极、减速栅极、均压板、法拉第杯、直流电源和皮安表，其中，聚焦极、减速栅极、均压板和法拉第杯依次同光轴布置，聚焦极置于电子枪的限束光阑后，皮安表与法拉第杯相连并接地，直流电源分别与聚焦极、减速栅极、均压板相连；通过聚焦极将电子束进行汇聚和准直，降低横向发散对测试分辨率的影响；通过减速栅极筛选动能大于栅极电势的电子；通过均压板平滑减速栅孔附近的电势分布，提高电子束能量检测的分辨率。本发明专利技术提出的分析仪结构简单，测量精度达到几十毫电子伏，可用于高亮度电子枪的电子束能量分析。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子枪设备，具体涉及一种电子束能量分析仪。

技术介绍

1、减小电子束能散具有重要作用，比如在扫描电镜中，电子束能散越小，电子束的聚焦特性越好，从而提高成像分辨率；在电子束加工领域，较小的能散意味着电子束能量分布更加集中，能够更精确地控制加工过程，比如在电子束光刻中，减小能散可以提高光刻分辨率和图案的准确性。因此，研究电子束能散对推动电子束零部件和设备的发展具有重要意义。

2、测试带电粒子能量分布的装置主要包括偏转型能量分析器和减速场能量分析器。前者利用不同能量带电粒子在电场(或磁场)中偏转轨迹不同从而分析其能量分布，这种方式的缺点在于分辨率低，若要提高分辨率需要大量设置准直和聚焦透镜，大幅提升了设备体积，不易直接用于对现有电子枪(如sem，ebl)电子注的能谱测量。静电减速场能量分析器通过调控减速栅压筛选特定能量段的电子，进而分析电子束能量分布，优点是体积小，结构简单，容易直接和电子枪结构兼容。对于扫描电镜等高亮度电子束量检设备而言，电子束的能量分布一般在几个ev以内，尤其对肖特基电子枪和冷场电子枪而言，束流能散更是仅在0.3-0本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子束能量分析仪，其特征在于，所述电子束能量分析仪包括：聚焦极、减速栅极、均压板、法拉第杯、直流电源和皮安表，其中，

2.根据权利要求1所述的电子束能量分析仪，其特征在于，通过调整所述直流电源施加给所述聚焦极的电压，改变焦点位置。

3.根据权利要求1所述的电子束能量分析仪，其特征在于，通过调整所述直流电源施加给所述减速栅极的电压，调控所述法拉第杯接收的电流。

4.根据权利要求1所述的电子束能量分析仪，其特征在于，所述电子束能量分析仪还包括：陶瓷板，所述聚焦极、所述减速栅极、所述均压板和所述法拉第杯通过所述陶瓷板隔开，并钎焊成同轴的整体部件。...

【技术特征摘要】

1.一种电子束能量分析仪，其特征在于，所述电子束能量分析仪包括：聚焦极、减速栅极、均压板、法拉第杯、直流电源和皮安表，其中，

2.根据权利要求1所述的电子束能量分析仪，其特征在于，通过调整所述直流电源施加给所述聚焦极的电压，改变焦点位置。

3.根据权利要求1所述的电子束能量分析仪，其特征在于，通过调整所述直流电源施加给所述减速栅极的电压，调控所述法拉第杯接收的电流。

4.根据权利要求1所述的电子束能量分析仪，其特征在于，所述电子束能量分析仪还包括：陶瓷板，所述聚焦极、所述减速栅极、所述均压板和所述法拉第杯通过所述陶瓷板隔开，并钎焊成同轴的整体部件。

5.根据权利要求4所述的电子束能量分析仪，其特征在于，所述电子束能量分析仪还包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐跃凡，高召顺，茹亚东，左婷婷，薛江丽，段瑞滨，高广赞，肖立业，韩立，
申请(专利权)人：中国科学院电工研究所，
类型：发明
国别省市：