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本发明涉及电子枪设备技术领域，公开了一种电子束能量分析仪，包括：聚焦极、减速栅极、均压板、法拉第杯、直流电源和皮安表，其中，聚焦极、减速栅极、均压板和法拉第杯依次同光轴布置，聚焦极置于电子枪的限束光阑后，皮安表与法拉第杯相连并接地，直流电源...
该专利属于中国科学院电工研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。

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