【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于加速度测量,具体涉及一种微机械电容式加速度计的控制方法、装置以及存储介质。
技术介绍
1、微机电子机械系统(micro electro-mechanicalsystem,mems)电容型传感器为微机电系统研究和制造领域的一个重要分支,由于其低成本和低功耗优势,是应用中的主流选择。然而,通常情况下mems电容式加速度计的常压封装,会使得mems电容式加速度计的微机械表头的品质因数(quality factor)大于1/2,即会使得微机械表头处于欠阻尼(谐振)状态。然而,在微机械表头处于欠阻尼状态的情况下,会使得微机械表头的幅频特性出现谐振尖峰,从而导致微机械表头的可用带宽远远小于谐振频率。
2、因此,为了避免微机械表头的可用带宽小于谐振频率,现有技术通常是在微机械表头中,设置一个用于增大阻尼力的机械梳齿结构,以此避免微机械表头处于欠阻尼状态,从而避免微机械表头的可用带宽远远小于谐振频率。但是,由于机械梳齿结构在安装后无法改变,即对微机械表头增加的阻尼无法改变,因此现有技术对微机械表头的阻尼大小调节不够灵活。
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【技术保护点】
1.一种微机械电容式加速度计的控制方法,其特征在于,所述方法包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括转换电路;
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括阻尼控制电路;
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括转换电路;
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于所述第一模拟电压信号、所述第二模拟电压信号以及所述初始增益,将所述微机械表头控制在临界
...【技术特征摘要】
1.一种微机械电容式加速度计的控制方法,其特征在于,所述方法包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括转换电路;
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括阻尼控制电路;
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括转换电路;
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于所述第...
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