微机械电容式加速度计的控制方法、装置以及存储介质制造方法及图纸

技术编号:46278328 阅读:8 留言:0更新日期:2025-09-02 21:09
本发明专利技术公开了一种微机械电容式加速度计的控制方法,包括:对微机械电容式加速度计施加初始频率的驱动电压信号,确定微机械表头的第一位移;基于预设的频率步长,逐步增加驱动电压信号的频率,当驱动电压信号的频率等于谐振频率时,停止增加驱动电压信号的频率并确定初始差分阻尼电压信号;基于预设的初始增益对初始差分阻尼电压信号的幅度进行调整,得到第一差分阻尼电压信号,并对微机械电容式加速度计施加第一差分阻尼电压信号以增加微机械表头的阻尼力;获取第二模拟电压信号;基于第一模拟电压信号、第二模拟电压信号以及初始增益,将微机械表头控制在临界阻尼状态。由于,差分阻尼电压信号的幅度可以通过初始增益进行调节,因此可以对微机械表头增加的阻尼力进行灵活调节。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于加速度测量,具体涉及一种微机械电容式加速度计的控制方法、装置以及存储介质


技术介绍

1、微机电子机械系统(micro electro-mechanicalsystem,mems)电容型传感器为微机电系统研究和制造领域的一个重要分支,由于其低成本和低功耗优势,是应用中的主流选择。然而,通常情况下mems电容式加速度计的常压封装,会使得mems电容式加速度计的微机械表头的品质因数(quality factor)大于1/2,即会使得微机械表头处于欠阻尼(谐振)状态。然而,在微机械表头处于欠阻尼状态的情况下,会使得微机械表头的幅频特性出现谐振尖峰,从而导致微机械表头的可用带宽远远小于谐振频率。

2、因此,为了避免微机械表头的可用带宽小于谐振频率,现有技术通常是在微机械表头中,设置一个用于增大阻尼力的机械梳齿结构,以此避免微机械表头处于欠阻尼状态,从而避免微机械表头的可用带宽远远小于谐振频率。但是,由于机械梳齿结构在安装后无法改变,即对微机械表头增加的阻尼无法改变,因此现有技术对微机械表头的阻尼大小调节不够灵活。>

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微机械电容式加速度计的控制方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括转换电路;

4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括阻尼控制电路;

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括转换电路;

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于所述第一模拟电压信号、所述第二模拟电压信号以及所述初始增益,将所述微机械表头控制在临界阻尼状态,包括:...

【技术特征摘要】

1.一种微机械电容式加速度计的控制方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括转换电路;

4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括阻尼控制电路;

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述微机械电容式加速度计包括转换电路;

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱樟明邓享熠钟龙杰
申请(专利权)人:西安电子科技大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1