一种BC结构电池片及其制备方法技术

本申请提供一种BC结构电池片及其制备方法，方法包括：S100、在整片n型硅片上完成xBC电池背面结构处理、正面制绒及背面金属化工艺以制作待划分结构；S200、采用激光划片工艺将整片所述待划分结构分割为至少两个子结构，每个子结构包含交替设置的p型栅线和n型栅线；S300、对分割后的子结构进行清洗；S400、在清洗后的所述子结构正面及侧面沉积本征非晶硅层；S500、在所述本征非晶硅层上沉积介电叠层；其中，S400和S500同步完成电池侧边钝化膜层沉积。本申请提高电池制作效率和电池良率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体，具体涉及一种bc结构电池片及其制备方法。

技术介绍

1、光伏行业的快速发展，使得n型topcon电池、bc电池、异质结电池等效率不断提高，晶硅电池效率越来越接近理论极限。同时，工业化大规模生产促进了光伏产品成本的迅速降低。

2、传统晶硅太阳电池的发射极和基极都是位于电池相对的两个面(前表面和背表面)，相应将两个区域中光生载流子导出来的栅线也是分别位于电池两个面，而且电池的正面(即受光面)是有电极遮挡的，入射光在电池的正面会被电极遮挡和反射造成损失。背接触太阳电池的发射极和基极均位于电池的背表面，相应的金属化电极也是位于电池的背表面。除了结构设计不同于常规电池外，背接触太阳电池还有以下优点：由于电池的前表面没有金属化电极，对入射光“零”遮挡，可以分别优化光学设计和电学设计，在增加对光的吸收和利用的同时减小电学复合损失，提高电池的短路电流和开路电压，从而获得高的光电转换效率；由于金属化电极在电池的背表面，可以设计足够的电极从而减小电池的串联电阻；(3)背接触太阳电池的组件封装更简单，可以实现完全自动化的共面相连，不像常规双面电极晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种BC结构电池片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述xBC电池为HBC电池时，所述S100具体包括：

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述xBC电池为TBC电池时，所述S100具体包括：

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S200中激光划片的切割路径选择在相邻p型栅线和n型栅线之间的凹槽位置。

5.根据权利要求2或3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S300中使用链式清洗设备依次采用HF+HNO3混合液、SC2溶液、HCl溶液和水，分步去除所述子...

【技术特征摘要】

1.一种bc结构电池片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述xbc电池为hbc电池时，所述s100具体包括：

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述xbc电池为tbc电池时，所述s100具体包括：

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤s200中激光划片的切割路径选择在相邻p型栅线和n型栅线之间的凹槽位置。

5.根据权利要求2或3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤s300中使用链式清洗设备依次采用hf+hno3混合液、sc2溶液、hcl溶液和水，分步去除所述子结构侧壁的ito层或介质层。

6.根据权利要求1所述的制备方...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏青竹，奚明，
申请(专利权)人：理想晶延半导体设备浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：