【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硼扩散生产设备，具体提供一种模块化硼扩尾排装置。
技术介绍
1、随着光伏制造走向多tw规模，大规模生产的细节需要做详细评估，不仅包括效率和成本，还要考虑器件的损耗，以确保生产的可持续进行。目前的topcon电池技术为n型电池主流技术路线之一，各大电池厂商都在不断扩产topcon电池。硼扩散是影响电池效率的关键工序，在制造的过程中，通入硼源bcl3或者bbr3并与氧气反应，氧化生成b2o3，b2o3与si反应生成b。在高温下状态下，b在浓度差的驱动下在硅片表面发生扩散。b2o3作为反应过程中的中间产物，会随着高温尾气排除，很容易堵塞尾气瓶和真空泵，造成泵速异常影响扩散工艺，最终影响电池片的效率。由此，为保证扩散机台可以长期稳定的使用，需要对尾排进行改造，降低真空泵的保养周期，简化保养步骤。
2、相应地，本领域需要一种新的尾气排放装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术旨在解决上述技术问题，即，解决现有技术中硼扩散尾气处理设备易堵塞、维护不便的问题。
2...
【技术保护点】
1.一种模块化硼扩尾排装置，其特征在于，所述模块化硼扩尾排装置包括：
2.根据权利要求1所述的模块化硼扩尾排装置，其特征在于，所述冷却模块(1)包括冷却瓶(6)及冷却盘管(7)，所述冷却盘管(7)设置在所述冷却瓶(6)内，所述冷却盘管(7)的进口端适于与尾气出口连通，所述冷却盘管(7)的出口端定位在所述液洗模块(2)的液面以下。
3.根据权利要求2所述的模块化硼扩尾排装置，其特征在于，所述冷却模块(1)还包括单向阀，所述单向阀设置在所述冷却盘管(7)上。
4.根据权利要求3所述的模块化硼扩尾排装置，其特征在于，所述液洗模块(2)包括...
【技术特征摘要】
1.一种模块化硼扩尾排装置，其特征在于，所述模块化硼扩尾排装置包括：
2.根据权利要求1所述的模块化硼扩尾排装置，其特征在于，所述冷却模块(1)包括冷却瓶(6)及冷却盘管(7)，所述冷却盘管(7)设置在所述冷却瓶(6)内，所述冷却盘管(7)的进口端适于与尾气出口连通，所述冷却盘管(7)的出口端定位在所述液洗模块(2)的液面以下。
3.根据权利要求2所述的模块化硼扩尾排装置，其特征在于，所述冷却模块(1)还包括单向阀，所述单向阀设置在所述冷却盘管(7)上。
4.根据权利要求3所述的模块化硼扩尾排装置，其特征在于，所述液洗模块(2)包括吸附瓶(9)，所述吸附瓶(9)上设置有出气孔(10)，所述吸附瓶(9)内适于盛装冷却液，所述冷却盘管(7)的出气端伸入到所述吸附瓶(9)内且被配置成低于冷却液液面。
5.根据权利要求4所述的模块化硼扩尾排装置，其特征在于，所述过滤模块(3)包括滤芯固定单元(11)及滤芯(12)，所述滤芯固定单元(11)设置有过滤通道(13)，所述滤芯(12)设置在所述过滤通道(13)内，所述过滤通道(13)的进口端与所述出气孔(10)连通，所述过滤通道(13)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢俊峰，吴晓鹏，王浩，周彬彬，刘成法，
申请(专利权)人：天合光能股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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