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本技术涉及硼扩散生产设备，具体提供一种模块化硼扩尾排装置，旨在解决现有技术中硼扩散尾气处理设备易堵塞、维护不便的问题。为此目的，本技术的模块化硼扩尾排装置包括冷却模块、液洗模块、过滤模块及密封单元，冷却模块适于连接尾气出口并对尾气进行冷却；...
该专利属于天合光能股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天合光能股份有限公司授权不得商用。

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