【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光化学传感器，具体地，涉及一种基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器及其制备方法。
技术介绍
1、随着氢能的广泛应用，氢气的安全检测成为重要的研究方向。目前，常见的氢气传感器主要包括电化学传感器、金属氧化物半导体传感器以及光学传感器。其中，电化学传感器因其高灵敏度和良好的选择性而被广泛应用，但其对环境条件敏感，易受温度和湿度变化的影响，且使用寿命有限。金属氧化物半导体传感器在高温环境下表现良好，但其灵敏度和选择性不足。光学传感器则通常具有较高的灵敏度和响应速度，但成本较高且难以实现小型化。因此，亟需开发一种新型氢气传感器，以克服现有技术的局限。
技术实现思路
1、针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器及其制备方法。
2、根据本专利技术提供的一种基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器，包括氢气传感单元和soi光波导结构；
3、所述氢气传感单元自下而上依次层设有基底层、导电层、绝缘层、...
【技术保护点】
1.一种基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器，其特征在于，包括氢气传感单元（1）和SOI光波导结构（2）；
2.根据权利要求1所述的基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器，其特征在于，所述金属纳米立方体（150）的材料为银，所述自组装工艺为利用水相与正己烷界面的诱导作用，使所述金属纳米立方体（150）在界面处有序排列。
3.根据权利要求2所述的基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器，其特征在于，所述金属纳米立方体（150）的尺寸为50-300nm，相邻所述银纳米立方体之间的间距为10-100nm。
4.根据...
【技术特征摘要】
1.一种基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器，其特征在于，包括氢气传感单元（1）和soi光波导结构（2）；
2.根据权利要求1所述的基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器，其特征在于，所述金属纳米立方体（150）的材料为银，所述自组装工艺为利用水相与正己烷界面的诱导作用，使所述金属纳米立方体（150）在界面处有序排列。
3.根据权利要求2所述的基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器，其特征在于，所述金属纳米立方体（150）的尺寸为50-300nm，相邻所述银纳米立方体之间的间距为10-100nm。
4.根据权利要求1所述的基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器，其特征在于，所述导电层（12）的材质为金，所述导电层（12）的厚度为10-20nm。
5.根据权利要求1所述的基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器，其特征在于，所述绝缘层（13）的材质为三氧化二铝，所述绝缘层（13）的厚度为3-5nm...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪海彬，盛明锃，陈子辰，叶昇，韩佳晟，王亚婕，吴文杰，孔子彦，施颖，秦伦明，高一军，
申请(专利权)人：南京信息工程大学南通研究院，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。