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本发明涉及光化学传感器技术领域内的一种基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器及其制备方法，包括氢气传感单元和SOI光波导结构；氢气传感单元自下而上依次层设有基底层、导电层、绝缘层、氢敏金属层以及自组装金属纳米腔结构层，自组装金属纳米...
该专利属于南京信息工程大学南通研究院所有，仅供学习研究参考，未经过南京信息工程大学南通研究院授权不得商用。

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