射频电源控制器制造技术

本申请涉及一种射频电源控制器。本申请的射频电源控制器包括：调节模块，用于调节并输出第一信号；单片机模块，用于获取至少一个第一信号并存储；并循环读取存储的至少一个第一信号，以循环输出至少一组与第一信号对应的单片机输出电压和控制开关信号，使得基于单片机输出电压实现对射频电源的发射功率大小的设定以及基于控制开关信号实现对射频电源的开时长和关时长的控制；根据获取到的第一单片机输入电压确定与射频电源实际发射功率对应的发射电压信息，根据获取到的第二单片机输入电压确定与反射功率对应的反射电压信息；显示屏，用于显示包括第一信号、发射电压信息和反射电压信息中的至少一项信息。本申请提供了小巧便捷的射频电源控制器。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电子测量仪器，特别是涉及一种射频电源控制器。

技术介绍

1、在半导体工艺设备中，射频电源(rf电源)通常用于刻蚀设备和薄膜沉积设备等中产生稳定的高频电场，以激励等离子体反应，实现材料的精确刻蚀和沉积。由于在各个不同的工艺步骤中，负载阻抗会发生变化，当rf电源与负载之间的匹配网络不太匹配时，发射功率会反射回电源，从而引起电缆发热，严重时会损坏射频电源元器件。所以，需要经常地、频繁地对rf电源的发射功率和反射功率进行测量。

2、因此，提供一款小巧便捷的射频电源控制器，来满足对rf电源进行上述测量的频繁性需求是至关重要的。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例为解决
技术介绍
中存在的至少一个问题而提供一种射频电源控制器。

2、本申请实施例提供一种射频电源控制器，所述射频电源控制器包括：

3、调节模块，用于调节并输出第一信号；所述第一信号包括一设定电压信息、以及与该设定电压信息对应的开时长信息和关时长信息；

4、单片机模块，与所述调节模块连接，用于获取至少一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种射频电源控制器，其特征在于，所述射频电源控制器包括：

2.根据权利要求1所述的射频电源控制器，其特征在于，所述射频电源控制器还包括以下至少一项：

3.根据权利要求2所述的射频电源控制器，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的射频电源控制器，其特征在于，所述射频电源控制器还包括：

5.根据权利要求4所述的射频电源控制器，其特征在于，所述信号隔离模块包括：

6.根据权利要求1所述的射频电源控制器，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的射频电源控制器，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的射频电源控制器...

【技术特征摘要】

1.一种射频电源控制器，其特征在于，所述射频电源控制器包括：

2.根据权利要求1所述的射频电源控制器，其特征在于，所述射频电源控制器还包括以下至少一项：

3.根据权利要求2所述的射频电源控制器，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的射频电源控制器，其特征在于，所述射频电源控制器还包括：

5.根据权利要求4所述的射频电源控制器，其特征在于，所述信号隔离模块包...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵飚，
申请(专利权)人：芯联集成电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：