【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶圆棒氧碳片运输,尤其涉及一种单晶圆棒氧碳片运输装置。
技术介绍
1、单晶圆棒通过截断、开方、磨倒工序加工成方棒,在截断工序需要在圆棒的头部和尾部进行取2mm厚的薄片进行氧、碳含量的检测,合格后圆棒才可以流转到后序工序。
2、目前现场操作流程为生产操作将氧碳片通过截断机进行取片,质检人员需去每台截断机旁进行氧碳片收集,因厂房面积大,机台布置分散,收集一轮需要很长时间,同时需要用手拿,导致有的时候一次不能完成都拿上,存在检验时间较长的问题。
技术实现思路
1、鉴于现有技术存在的上述问题,本技术实施例的目的在于提供一种单晶圆棒氧碳片运输装置。
2、本技术实施例采用的技术方案是一种单晶圆棒氧碳片运输装置,包括放置箱,其特征在于,所述放置箱包括壳体,所述壳体的顶部构造为敞口,且壳体的内腔安装有单晶圆棒氧碳片的放置机构。
3、进一步的,所述放置机构包括支撑体,所述支撑体填充壳体内腔,所述支撑体上开设有若干放置槽。
4、进一步的,还包括推车,
...【技术保护点】
1.一种单晶圆棒氧碳片运输装置,包括放置箱(1),其特征在于,所述放置箱(1)包括壳体(11),所述壳体(11)的顶部构造为敞口,且壳体(11)的内腔安装有单晶圆棒氧碳片的放置机构。
2.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒氧碳片运输装置,其特征在于,所述放置机构包括支撑体(12),所述支撑体(12)填充壳体(11)内腔,所述支撑体(12)上开设有若干放置槽(13)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒氧碳片运输装置,其特征在于,还包括推车(2),所述放置箱(1)活动地安装于推车(2)上。
4.根据权利要求3所述的一种单晶圆棒氧碳片运
...【技术特征摘要】
1.一种单晶圆棒氧碳片运输装置,包括放置箱(1),其特征在于,所述放置箱(1)包括壳体(11),所述壳体(11)的顶部构造为敞口,且壳体(11)的内腔安装有单晶圆棒氧碳片的放置机构。
2.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒氧碳片运输装置,其特征在于,所述放置机构包括支撑体(12),所述支撑体(12)填充壳体(11)内腔,所述支撑体(12)上开设有若干放置槽(13)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒氧碳片运输装置,其特征在于,还包括推车(2),所述放置箱(1)活动地安装于推车(2)上。
4.根据权利要求3所述的一种单晶圆棒氧碳片运输装...
【专利技术属性】
技术研发人员:王小亮,牛敬超,邸敏伟,裴蕾,
申请(专利权)人:包头旭阳硅料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。