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本技术实施例提供了一种单晶圆棒氧碳片运输装置，包括放置箱，其特征在于，所述放置箱包括壳体，所述壳体的顶部构造为敞口，且壳体的内腔安装有单晶圆棒氧碳片的放置机构。所述放置机构包括支撑体，所述支撑体填充壳体内腔，所述支撑体上开设有若干放置槽。本...
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