【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及补液装置，尤其公开了一种多路磷源扩散自动补液系统。
技术介绍
1、在半导体制造工艺中，磷源扩散工序需通过多路供液系统向扩散设备精准输送磷源化学品，但现有技术存在供液稳定性差、泄漏风险高及环境兼容性不足的缺陷。例如，传统供液系统依赖单一管路和手动调压，多路供液时易出现压力波动导致流量不均，且磷源(如pocl3、ph3)具有强腐蚀性和挥发性，一旦泄漏易引发设备腐蚀或安全事故。此外，现有泄漏处理装置多采用直接排放或简单吸附，未实现有害气体的高效分解与能量回用，难以满足环保要求。因此，亟需一种能实现多路供液精准控制、泄漏自处理及热能循环利用的集成化系统。
2、现有技术中，公开号为cn214458320u，主题名称为一种磷化槽的红外感应自动补液装置的中国专利技术专利，其通过红外感应挂具触发循环水泵补液，虽解决了人工添加的效率问题，但其单一补液路径、缺乏多路协同控制及泄漏防护的设计，难以满足半导体工艺中多路高精度供液、有毒气体泄漏处理及热能循环利用的需求。例如，半导体扩散工艺需同时向多台设备稳定供应磷源(如pocl3)，且...
【技术保护点】
1.一种多路磷源扩散自动补液系统，其特征在于：包括柜体(1)、控制单元(2)以及设置在柜体(1)内与控制单元(2)电性配合的储液单元(3)、多路供液单元(4)以及泄漏应急单元(5)；所述储液单元(3)包括磷源储存模块、温控模块以及称重传感器(33)，所述多路供液单元(4)包括连接在储液单元(3)的磷源储存模块和多个外界扩散设备之间的多个供液管路，所述供液管路设有氮气加压阀(42)和电子压力开关，所述多路供液单元(4)通过氮气加压阀(42)、电子压力开关与控制单元(2)联动；
2.根据权利要求1所述的多路磷源扩散自动补液系统，其特征在于：所述柜体(1)底部设...
【技术特征摘要】
1.一种多路磷源扩散自动补液系统，其特征在于：包括柜体(1)、控制单元(2)以及设置在柜体(1)内与控制单元(2)电性配合的储液单元(3)、多路供液单元(4)以及泄漏应急单元(5)；所述储液单元(3)包括磷源储存模块、温控模块以及称重传感器(33)，所述多路供液单元(4)包括连接在储液单元(3)的磷源储存模块和多个外界扩散设备之间的多个供液管路，所述供液管路设有氮气加压阀(42)和电子压力开关，所述多路供液单元(4)通过氮气加压阀(42)、电子压力开关与控制单元(2)联动；
2.根据权利要求1所述的多路磷源扩散自动补液系统，其特征在于：所述柜体(1)底部设有驱动装置(6)，驱动装置(6)的输出端连接有承载板(61)，所述驱动装置(6)用于驱动承载板(61)沿水平方向移出柜体(1)并使得承载板(61)在距地面100-500mm的高度垂直升降配合磷源储存模块的装卸定位，所述承载板(61)上设有倾斜延伸至地面的用于辅助磷源储存模块的装卸定位的导引板(62)。
3.根据权利要求1所述的多路磷源扩散自动补液系统，其特征在于：所述泄漏应急单元(5)包括依次连接的气体检测仪(51)、进排风装置以及催化装置(53)，所述进排风装置具有开设于柜体(1)的进风口(521)和排风口(522)以及设置在进风口(521)和排风口(522)之间的风力循环机构(523)，所述风力循环机构(523)与气体检测仪(51)电性连接，所述温控模块具有热回收管路，所述催化装置(53)与温控模块的热回收管路配合连接；
4.根据权利要求3所述的多路磷源扩散自动补液系统，其特征在于：所述泄漏应急单元(5)还包括尾气处理装置，所述尾气处理装置通过尾气管路与催化装置(53)连接，用于处理催化燃烧后残余的酸性气体、颗粒物或有毒物质；所述尾气处理装置包括碱液喷淋塔、活性炭吸附器或高效过滤器中的一种或多种组合。
5.根据权利要求4所述的多路磷源扩散自动补液系统，其特征在于：所述催化装置(53)包括催化室(531)、设置在催化室(531)内的陶瓷载体支架(532)以及热交换管道(533)，所述催化室(531)开设有第一进气口(5311)、第一出气口(5312)和热气导出口(5313)，所述第一进气口(5311)和第一出气口(5312)分别与进排风装置的排风口(522)和尾气管路连通，所述陶瓷载体支架(532)表面涂覆有用于和泄漏气体产生催化反应的金属催化剂，所述热气导出口(5313)经由热交换管道(533)与温控模块的热...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄立福，唐银，周启发，
申请(专利权)人：广东福雪莱电气有限公司，
类型：发明
国别省市：
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