【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传输阀领域，尤其是涉及半导体传输阀。
技术介绍
1、半导体传输阀是应用在硅片传输通道上应用最广的真空部件，是现代半导体工业中硅片传输及真空保证的重要部件。半导体传输阀在硅片运输时，保证通道的串通，在硅片的工艺过程时，又保证了腔室的真空度及洁净度。并且由于半导体传输阀的结构特性，既能保证高真空的环境，又能保证该环境下的颗粒度，这在传输工艺过程中呈现了明显优势。但是现有的很多半导体传输阀通过单体驱动机构对阀门进行驱动，导致阀门在运行过程中不稳定，进而导致半导体传输阀在使用过程中易出现漏气现象，为此提出半导体传输阀。
技术实现思路
1、本专利技术为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。
2、半导体传输阀，包括阀体，所述阀体顶端两侧均竖直设置有支撑板，且支撑板之间横向设置有气缸底板，并且支撑板的前后均竖直设置盖板以及通过气缸底板、支撑板与盖板之间组合形成置物壳体，所述气缸底板顶端竖直设置有气缸缸体，且置物壳体内部横向设置有推板，所述推板与气缸缸体之间进行...
【技术保护点】
1.半导体传输阀，包括阀体，其特征在于，所述阀体顶端两侧均竖直设置有支撑板，且支撑板之间横向设置有气缸底板，并且支撑板的前后均竖直设置盖板以及通过气缸底板、支撑板与盖板之间组合形成置物壳体，所述气缸底板顶端竖直设置有气缸缸体，且置物壳体内部横向设置有推板，所述推板与气缸缸体之间进行驱动连接，并且推板的底端竖直连接有拉杆，所述拉杆底端同步连接有压板，且压板竖直插装于阀体内部，并且压板于阀体内部进行上下移动，进而通过压板的移动可将阀体进行堵塞或开启。
2.根据权利要求1所述的半导体传输阀，其特征在于，所述推板与拉杆之间设置有导向块，且导向块均竖直位于推板底端的...
【技术特征摘要】
1.半导体传输阀，包括阀体，其特征在于，所述阀体顶端两侧均竖直设置有支撑板，且支撑板之间横向设置有气缸底板，并且支撑板的前后均竖直设置盖板以及通过气缸底板、支撑板与盖板之间组合形成置物壳体，所述气缸底板顶端竖直设置有气缸缸体，且置物壳体内部横向设置有推板，所述推板与气缸缸体之间进行驱动连接，并且推板的底端竖直连接有拉杆，所述拉杆底端同步连接有压板，且压板竖直插装于阀体内部，并且压板于阀体内部进行上下移动，进而通过压板的移动可将阀体进行堵塞或开启。
2.根据权利要求1所述的半导体传输阀，其特征在于，所述推板与拉杆之间设置有导向块，且导向块均竖直位于推板底端的两侧处，并且导向块与推板之间呈同一运动方向以及导向块与拉杆之间驱动连接。
3.根据权利要求2所述的半导体传输阀，其特征在于，所述导向块与推板之间设置有调节块，且调节块均竖直位于推板背部的两侧处，所述调节块的另一侧面与盖板内部侧壁进行贴合，且调节块与推板之间设置有调节弹簧，且调节弹簧的一端与调节块之间进行弹性连接，并且调节弹簧的另一端与推板之间进行弹性连接。
4.根据权利要求2所述的半导体传输阀，其特征在于，所述导向块与拉杆之间设置有夹板，且夹板均竖直位于拉杆的两侧处，所述夹板与拉杆之间呈同一运动方向，且夹板的一侧均横向设置第二传动轴承，且第二传动轴承均横架于导向块的底端处，所述第二传动轴承弹性连接有拉簧，且拉簧的另一端与拉杆之间进行弹性连接；所述拉杆与压板之间设置有连接座，且连接座竖直位于压板顶端处，所述拉杆竖直位于连接座的顶端处，且拉杆与连接座之间呈同一运动方向，并且夹板底端的一侧处均竖直固定于连接座的两侧。
5.根据权利要求4所述的半导体传输阀，其特征在于，所述夹板设置有挤紧块，且挤紧块均竖直位于夹板背部处，并且挤紧块的另一面贴于盖板内部侧面；所述夹板还设置有支点轴承，且支点轴承均横向位于夹板外部侧面的底端处，并...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢辉，
申请(专利权)人：东莞市沃成科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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