下载半导体传输阀的技术资料

文档序号:46096907

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本发明公开了半导体传输阀,包括阀体,所述阀体顶端两侧均竖直设置有支撑板,且支撑板之间横向设置有气缸底板,并且支撑板的前后均竖直设置盖板以及通过气缸底板、支撑板与盖板之间组合形成置物壳体,所述气缸底板顶端竖直设置有气缸缸体,且置物壳体内部横向...
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